[发明专利]信息处理系统、信息处理方法、程序以及基板处理装置

权利要求书

1.一种信息处理系统，提供基板处理装置的参数值的组合，其特征在于，具备：

第一人工智能部，该第一人工智能部针对多个第一学习数据集分别进行学习，该多个第一学习数据集将参数类别的组合相互不同的参数的组作为输入值，并将对应的所述基板处理装置的性能值作为输出值，该第一人工智能部在学习后，将多个验证用数据集分别作为输入，来预测性能值，所述多个验证用数据集的参数类别的组合与学习时通用；

选择部，该选择部使用表示预测的所述性能值的正确回答的比例的值、该学习所花费的时间及所述性能值的预测所需的时间中的至少一个，从所述多个验证用数据集中所包含的多个参数类别的组中选择一个参数类别的组；以及

第二人工智能部，该第二人工智能部使用多个第二学习数据集进行学习，该多个第二学习数据集将由选择出的所述参数类别的组构成的过去的参数值的组作为输入值，并将对应的过去的性能值作为输出值，该第二人工智能部在学习后，将由选择出的所述参数类别的组构成的参数中的由对象基板处理装置必然确定的固定参数作为输入，在使由选择出的所述参数类别的组构成的参数中的可变的参数变化的情况下预测所述对象基板处理装置的性能值，并输出预测出的性能值中的、该性能值满足提取基准的参数值的组合。

2.根据权利要求1所述的信息处理系统，其特征在于，

还具备决定部，该决定部决定所述基板处理装置的多个参数值各自与性能值之间的相关性，使用所决定的多个相关性，决定所述第一人工智能部作为输入值使用的多个参数的参数类别。

3.根据权利要求2所述的信息处理系统，其特征在于，

所述决定部分别决定所述基板处理装置的多个参数值各自之间的相互相关性，使用所决定的相互相关性来追加，或者部分或全部替换所述第二人工智能部作为输入值使用的多个参数的参数类别。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理系统，其特征在于，

还具备排除基准决定部，该排除基准决定部决定所述基板处理装置的一个参数值与性能值之间的相关式，并使用该相关式来决定排除异常值的基准，

所述选择部除去满足所决定的所述基准的参数，选择所述参数类别的组。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的信息处理系统，其特征在于，

所述第二人工智能部将对象基板处理装置正在使用的多个参数值与此时的性能值的组追加到所述第二学习数据集或替换已有的所述第二学习数据集中所包含的数据来进一步学习，在学习后，将包含由选择出的所述参数类别的组构成的参数的多个验证用数据集作为输入，来预测所述基板处理装置的性能值，并输出预测出的性能值中的该性能值满足所述提取基准的参数值的组合。

6.根据权利要求4所述的信息处理系统，其特征在于，

所述第二人工智能部将对象基板处理装置正在使用的多个参数值与此时的性能值的组追加到所述第二学习数据集或替换已有的所述第二学习数据集中所包含的数据来进一步学习，在学习后，将包含由选择出的所述参数类别的组构成的参数的多个验证用数据集作为输入，来预测所述基板处理装置的性能值，并输出预测出的性能值中的该性能值满足所述提取基准的参数值的组合。