[发明专利]一种形成具有预定形状的波导部分的方法

权利要求书

1.一种形成具有预定形状的波导部分的方法，所述方法包括：

将可光固化材料分配到位于第一模具部分和与所述第一模具部分相对的第二模具部分之间的空间中；

调整所述第一模具部分的表面相对于与所述第一模具部分的表面相对的所述第二模具部分的表面之间的相对间隔，以填充位于所述第一模具部分与所述第二模具部分之间的所述空间；

用不同量的适合于使所述可光固化材料光固化的辐射来照射所述空间中的所述可光固化材料的不同部分以形成固化的波导膜，以使得所述固化的波导膜的不同部分具有不同的刚度；

使所述固化的波导膜与所述第一模具部分和所述第二模具部分分离；以及

从所述固化的波导膜单体化所述波导部分，

其中，所述波导部分对应于所述固化的波导膜的具有比所述固化的波导膜的其他部分更高的刚度的部分，

其中，所述单体化包括将聚合物膜分离成多个不同的产品和/或从聚合物产品的边缘去除过量的聚合物材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，用不同的辐射量来照射所述可光固化材料的不同部分。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述可光固化材料的用较高辐射剂量照射的部分对应于所述固化的波导膜的具有比所述波导膜的用较低辐射剂量照射的部分更高的刚度的部分。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，通过穿过掩模照射所述空间来供应不同的辐射量。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述掩模包括与所述波导部分的所述预定形状对应的孔。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述波导部分具有不超过1000μm的厚度和至少1cm²的面积。

7.一种形成具有预定形状的波导部分的方法，所述方法包括：

将可光固化材料分配到位于第一模具部分和与所述第一模具部分相对的第二模具部分之间的空间中；

调整所述第一模具部分的表面相对于与所述第一模具部分的表面相对的所述第二模具部分的表面之间的相对间隔，以填充位于所述第一模具部分与所述第二模具部分之间的所述空间；

用适合于使所述可光固化材料光固化的辐射来照射所述空间中的所述可光固化材料以形成部分固化的波导膜；

使所述部分固化的波导膜与所述第一模具部分和所述第二模具部分分离以提供所述波导部分；以及

从所述部分固化的波导膜以所述预定形状来单体化所述部分固化的波导膜的部分，

对被单体化的部分进行退火以提供所述波导部分，

其中，所述波导部分具有比所述部分固化的波导膜的刚度更高的刚度，

其中，所述单体化包括将聚合物膜分离成多个不同的产品和/或从聚合物产品的边缘去除过量的聚合物材料。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，通过用适合于使所述可光固化材料光固化的辐射来照射所述被单体化的部分，对所述被单体化的部分进行退火。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，通过对所述被单体化的部分加热来对所述被单体化的部分进行退火。

10.根据权利要求7所述的方法，其中，所述波导部分具有不超过1000μm的厚度和至少1cm²的面积。