[发明专利]制冷控制系统和冷却系统

权利要求书

1.一种冷却系统，使用一制冷剂冷却一冷却对象，该冷却系统包括：

一压缩件，其压缩该制冷剂；

一循环通道，与该压缩件连接，包括一位于该冷却对象侧的一冷却对象侧管，并且使该制冷剂循环，从而在该冷却对象与被该压缩件压缩的该制冷剂之间进行热交换；

一制冷控制系统，用于控制流过与该压缩件相连的该循环通道的该制冷剂并使该制冷剂循环，从而在该冷却对象与被该压缩件压缩的该制冷剂之间进行热交换，该制冷控制系统包括：

一储存件，其储存该制冷剂；

一第一管，其与构成该循环通道的一出口侧管连接，并位于该压缩件的一出口侧，并且使该出口侧管中的该制冷剂通过该第一管流向该储存件；

一第二管，其连接到构成该循环通道的一入口侧管，并且位于该压缩件的一入口侧，并且使该储存件中的该制冷剂通过该第二管流到该入口侧管；

一第一开关阀，其设置在该第一管中，并且能够切换是否使该制冷剂在该出口侧管中流向该储存件；

一第二开关阀，其设置在该第二管中，并且能够切换是否使该储存件中的该制冷剂流到该入口侧管；及

一开关控制件，其基于根据一预定方法设定的该冷却对象的一设定温度来控制该第一开关阀和该第二开关阀的一开关状态；及

一热交换件，该热交换件设置在该冷却对象侧管中，并在该冷却对象和该冷却对象侧管中的该制冷剂之间进行热交换，其中该热交换件包括能够冷却该冷却对象的一第一热交换件，和能够加热被该第一热交换件冷却的该冷却对象的一第二热交换件，

其中，该冷却对象侧管包括位于该第一热交换件侧的一第一冷却对象侧管，和位于该第二热交换件侧的一第二冷却对象侧管，

其中该冷却系统还包括：

一检测件，其检测该出口侧管中的温度或该入口侧管中的温度；

一第三管，其相对于该第一冷却对象侧管中的该第一热交换件连接到该入口侧管和一上游部分；及

一第三开关阀，其设置在该第三管中，并且能够调节存在于该冷却对象侧管中并流向该入口侧管的该制冷剂的量，且

其中该开关控制件基于该检测件的一检测结果来控制该第三开关阀的一开度。

2.如权利要求1所述的冷却系统，其中当该冷却对象的该设定温度高于该制冷剂的一临界温度时，该开关控制件打开该第一开关阀并关闭该第二开关阀；当该冷却对象的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度时，该开关控制件关闭该第一开关阀并打开该第二开关阀。

3.如权利要求2所述的冷却系统，其中在根据该预定方法获取的该压缩件的一工作压力值大于一阈值的情况，或者该冷却对象的该设定温度高于该制冷剂的该临界温度的情况中的任何一种情况下，该开关控制件打开该第一开关阀并关闭该第二开关阀；并且在该压缩件的该工作压力值小于该阈值的情况，或者该冷却对象的该设定温度低于该制冷剂的该临界温度的情况中的任何一种情况下，该开关控制件关闭该第一开关阀并打开该第二开关阀。

4.如权利要求1所述的冷却系统，还包括：一温度调节件，用于调节该储存件中的该制冷剂的温度。

5.如权利要求1所述的冷却系统，其中该制冷剂是二氧化碳。

6.如权利要求1所述的冷却系统，其中该冷却对象是半导体制造系统的冷却制冷剂。

7.如权利要求1所述的冷却系统，还包括：

一第四开关阀，其设置在相对于该第一冷却对象侧管中的该第一热交换件的该上游部分，并且能够调节存在于该第一冷却对象侧管中的该制冷剂的量并流向该第一热交换件；及

一第五开关阀，其设置在相对于该第二冷却对象侧管中的该第二热交换件的一下游部分，并且能够调节通过该第二热交换件进行热交换并流到该入口侧管的该制冷剂的量，

其中，该开关控制件基于根据该预定方法获取的该冷却对象的该温度来控制该第四开关阀和该第五开关阀的一开度。

8.如权利要求1所述的冷却系统，还包括：

一制冷剂热交换件，其在相对于该第一冷却对象侧管中的该第一热交换件的该上游部分的该制冷剂与相对于该第二冷却对象侧管中的该第二热交换件的一下游部分的该制冷剂之间进行热交换。

9.如权利要求1所述的冷却系统，还包括：

一压缩控制件，其基于该检测件的检测结果和根据该预定方法获取的该冷却对象的该温度来控制该压缩件。