[发明专利]隔膜阀

说明书

隔膜阀(10)设置有：形成有第一阀室(16)、第二阀室(20)及使二个阀室连通的连通路22的阀本体(11)；形成于连通路的阀座(23)；具有将接合分离于阀座的阀体部(24a)予以支承的第一隔膜(24)及第二隔膜(25)的阀机构(12)；在与阀本体之间夹持第一隔膜的外周部且对第一隔膜加压而将阀体部朝向阀座推靠的加压单元(14)；以及在与阀本体之间夹持第二隔膜的外周部的阀帽(13)。加压单元(14)配置成透过茎部(38)将与阀体部(24a)连动的可动体(37)支承于内部的整体单元。

技术领域

本发明涉及一种在半导体制造、化学工厂及食品等各种产业领域中用以移送各种流体的隔膜阀。

背景技术

过往在半导体制造等之中，为了在流体的流量及压力的控制中实现高精度的稳定性，常使用如专利文献1至专利文献3所揭示的具有二片隔膜的隔膜阀。

如此的隔膜阀之一例的图10所示的流体控制阀300，作为基本构造，包含：具有入口流路301及出口流路302的阀本体303，以及具有阀部304、第一隔膜部305及第二隔膜部306的阀体307。形成于阀本体303的腔室，透过第一隔膜部305及第二隔膜部306，被划分为第一隔膜部305的外侧的第一加压室308；位于第一隔膜部305与第二隔膜部306之间且与入口流路301连通的第一阀室310；位于第一隔膜部305及第二隔膜部306之间并透过第一阀室310、连通路312及阀座312a而连通且与出口流路302连通的第二阀室311；以及第二隔膜部306的外侧的第二加压室309，借由设置于第一加压室308的内部的弹簧313而透过弹簧轴承314以对第一隔膜部305施加经常性朝向内侧的固定压力的同时，利用自第二加压室309的外侧供给至第二加压室309的压缩空气等以对第二隔膜部306施加经常性朝向内侧的固定压力。又第二隔膜部306的受压面积设置为大于第一隔膜部305的受压面积。

如此的流体控制阀300，在未供给压缩空气至第二加压室309的状态下，使源自第一加压室308的弹簧313的压力透过第一隔膜部305将阀部304推靠向阀座312a而阻断流体的流通，借由将压缩空气供给至第二加压室309，抵抗源自弹簧60的压力而使阀部304自阀座312a远离，将流体的流量或压力设定为预先指定的值。当设定了流量或压力，变得于第一隔膜部305及第二隔膜部306施加有经常性朝向内侧的固定压力，一次侧(上流侧)的流体压力的变动，做为对于施加有经常性朝向内侧的固定压力的第一隔膜部305及第二隔膜部306的背压变动，即朝向外侧的压力变动而出现，而使源自第一加压室308及第二加压室309的固定的朝向内侧的设定压力与一次侧的朝向外侧的变动压力维持均衡地使阀体307移动。此阀体307移动的结果，使阀部304相对于阀座312a移动，阀部304与阀座312a间的开口量变化而流量或压力的变动受到抑制。

又如同前述的具有二片隔膜部的流体控制阀300中，接触流体的区域(接液区域)由于经隔膜部305、306划分，因此能够持续维持流体的清净度。因此，常被利用于要求流体的清净度的领域。

〔现有技术文献〕

〔专利文献〕

〔专利文献1〕日本特开平6-295209号公报

〔专利文献2〕日本特开2004-38571号公报

〔专利文献3〕日本特开2007-24070号公报

发明内容

〔发明所欲解决的问题〕

如图10所示的流体控制阀中，由于第一隔膜部305及第二隔膜部306与阀部306连动而运动，因此一般而言自第一隔膜部305及第二隔膜部306延伸的轴部连接于阀部304。但是，由于阀部304较自阀座延伸而使第一阀室310及第二阀室311连通的连通路更大，因此就组装的方便性而言，多为以第一隔膜部305及第二隔膜部306其中一者的轴部与阀部304形成为一体，同时另一者的轴部借由螺合连接。因此，必须有使轴部与阀部304螺合的作业。