[发明专利]光敏性树脂组合物、含氟树脂固化物的制备方法、含氟树脂、含氟树脂膜、隔堤及显示元件

权利要求书

1.一种光敏性树脂组合物，其特征在于，

其至少含有具有交联部位的含氟树脂、溶剂及光聚合引发剂，

所述含氟树脂含有由具有氟原子的烃组成的重复单元。

2.根据权利要求1所述的光敏性树脂组合物，其中，所述由具有氟原子的烃组成的重复单元具有下述式(1-1)所表示的结构，

[化学式1]

-CR^1-2＝CRf₂ (1-1)

式(1-1)中，Rf各自独立地表示碳原子数为1～6的直链状全氟烷基、碳原子数为3～6的支链状全氟烷基或碳原子数为3～6的环状全氟烷基、或者氟原子；R^1-2表示氢原子、碳原子数为1～6的直链状烷基、碳原子数为3～6的支链状烷基或碳原子数为3～6的环状烷基。

3.根据权利要求1或2所述的光敏性树脂组合物，其中，所述由具有氟原子的烃组成的重复单元具有下述式(1-2)所表示的结构，

[化学式2]

式(1-2)中，Rf各自独立地表示碳原子数为1～6的直链状全氟烷基、碳原子数为3～6的支链状全氟烷基或碳原子数为3～6的环状全氟烷基、或者氟原子；R^1-1表示氢原子、氟原子或甲基；R^1-2表示氢原子、碳原子数为1～6的直链状烷基、碳原子数为3～6的支链状烷基或碳原子数为3～6的环状烷基。

4.根据权利要求2或3所述的光敏性树脂组合物，其中，所述式(1-1)或所述式(1-2)中的Rf为氟原子、三氟甲基、二氟甲基、五氟乙基、2，2，2-三氟乙基、七氟正丙基、2,2,3，3，3-五氟丙基、3，3，3-三氟丙基、六氟异丙基、七氟异丙基、九氟正丁基、九氟异丁基或九氟叔丁基。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的光敏性树脂组合物，其中，所述氟树脂的含氟率为20～50质量％。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的光敏性树脂组合物，其进一步含有交联剂。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的光敏性树脂组合物，其进一步含有碱溶性树脂。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的光敏性树脂组合物，其以140℃以下的温度进行固化。

9.一种含氟树脂固化物的制备方法，其为制备含氟树脂固化物的方法，其特征在于，其包含：

通过以140℃以下的温度对权利要求1～8中任一项所述的光敏性树脂组合物进行烘干而使其固化的烘干工序。

10.根据权利要求9所述的含氟树脂固化物的制备方法，其中，在所述烘干工序中，以60～130℃对所述光敏性树脂组合物进行烘干。

11.根据权利要求9或10所述的含氟树脂固化物的制备方法，其中，在所述烘干工序之前，包含以高能量射线对所述光敏性树脂组合物进行曝光的曝光工序。

12.根据权利要求11所述的含氟树脂固化物的制备方法，其中，所述高能量射线为选自由紫外线、伽马射线、X射线及α射线组成的组中的至少一种。

13.一种含氟树脂固化物的制备方法，其为含氟树脂固化物的制备方法，其特征在于，其包括：

将权利要求1～8中任一项所述的光敏性树脂组合物涂布在基板上后，通过加热使所述光敏性树脂组合物形成含氟树脂膜的成膜工序；

以高能量射线对所述含氟树脂膜进行曝光的曝光工序；

用碱性水溶液使所述曝光工序后的含氟树脂膜显影，形成含氟树脂图案膜的显影工序；及

在所述显影工序后，通过以140℃以下的温度对所述含氟树脂图案膜进行烘干而使其固化，从而形成含氟树脂固化物的烘干工序。