[发明专利]分光单元及分光模块

说明书

本发明的分光单元具备：框体；光入射部，其设置于框体；以及法布里‑珀罗干涉滤光器，其配置于框体内，具有彼此的距离设为可变的第一镜部和第二镜部。光入射部具有：形成有光圈的光圈部、以及配置于光圈和法布里‑珀罗干涉滤光器之间的带通滤光器。光圈部以第一镜部和第二镜部的相对方向的方向上的光圈的长度除以的垂直于相对方向的方向上的光圈的宽度的值为0.5以上的方式，并且以通过光圈的光的全部入射于带通滤光器的方式构成。

技术领域

本公开涉及分光单元及分光模块。

背景技术

已知一种分光模块，其具备：出射照射至对象物的光的光源、将由对象物反射的光或者透过对象物的光分光的分光单元、以及检测通过分光单元分光的光检测器(例如，参照专利文件1)。通过这样的分光模块，例如可以无损地分析对象物的成分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-145643号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在如上所述的分光模块中，有时法布里-珀罗干涉滤光器适用于分光单元。在这种情况下，提高通过法布里-珀罗干涉滤光器的分光精度，例如，在提高对象物的成分的分析精度上极为重要。

本公开的目的在于提供一种可以提高通过法布里-珀罗干涉滤光器的分光精度的分光单元和分光模块。

用于解决技术问题的技术手段

本公开的一个方面的分光单元具备：框体；光入射部，其设置于框体；以及法布里-珀罗干涉滤光器，其配置于框体内，具有彼此的距离设为可变的第一镜部和第二镜部，光入射部具有：形成有光圈(aperture)的光圈部、以及配置于光圈和法布里-珀罗干涉滤光器之间的带通滤光器，光圈部以第一镜部和第二镜部的相对方向的方向上的光圈的长度除以的垂直于相对方向的方向上的光圈的宽度的值为0.5以上的方式，并且以通过光圈的光的全部入射于带通滤光器的方式构成。

在该分光单元中，以光圈的长度除以光圈的宽度的值为0.5以上的方式，并且以通过光圈的光的全部入射于带通滤光器的方式，构成光圈部。因此，通过光圈的光的全部在其入射角度的范围被缩小的状态下，入射于带通滤光器。由此，带通滤光器适当地发挥功能，期望的波长范围的光在其入射角度的范围被缩小的状态下，入射于法布里-珀罗干涉滤光器。因此，在通过法布里-珀罗干涉滤光器获得的分光光谱中分辨率提高。因此，通过该分光单元，可以提高通过法布里-珀罗干涉滤光器的分光精度。

在本公开的一个方面的分光单元中，也可以是：光圈部以通过光圈并且透过带通滤光器的光的全部入射于法布里-珀罗干涉滤光器的方式构成。由此，可以抑制在框体内产生杂散光。

在本公开的一个方面的分光单元中，也可以是：在从相对方向观察的情况下，光圈的外缘位于法布里-珀罗干涉滤光器的透光区域的外缘的内侧。由此，可以使通过光圈的光中的透过法布里-珀罗干涉滤光器的透光区域的光的比例增加。

本公开的一个方面的分光单元也可以是：还具备：光检测器，其配置于框体内，检测透过法布里-珀罗干涉滤光器的光。由此，可以抑制因杂散光引起的噪声的产生，并且可以高精度地检测分光的光。另外，因为光检测器配置于框体内，所以可以谋求具备光检测器的分光单元的小型化。

在本公开的一个方面的分光单元中，也可以是：光圈的光入射开口和光出射开口呈圆形状。由此，可以容易地形成具有期望的性能的光圈。