[发明专利]固体摄像元件和视频记录装置在审
申请号: | 201980069584.9 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN112889147A | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 本庄亮子 | 申请(专利权)人: | 索尼半导体解决方案公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L27/00;H01L21/8234;H01L27/088;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/146;H01L29/417;H04N5/369 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 陈桂香;曹正建 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 视频 记录 装置 | ||
1.一种固体摄像元件,包括:
第一半导体基板,其包括用于临时保持从光电转换元件输出的电气信号的浮动扩散部;和
第二半导体基板,其面对所述第一半导体基板,
其中,所述第二半导体基板包括布置在与所述第一半导体基板面对着的一侧上的第一晶体管,所述第一晶体管包括:
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸的沟道;和
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸且将所述沟道夹在中间的多栅,
并且所述第一晶体管的所述多栅连接到所述浮动扩散部。
2.根据权利要求1所述的固体摄像元件,还包括:
接触件,其将所述多栅和所述浮动扩散部二者的相互面对着的表面连接起来。
3.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其中,
所述第二半导体基板包括布置在与所述第一半导体基板面对着的一侧上的第二晶体管,所述第二晶体管包括源极区域,并且
所述第一晶体管的所述多栅连接到所述第二晶体管的所述源极区域。
4.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其中,
所述第二半导体基板包括:
从所述第二半导体基板的一个表面侧延伸且到达所述第二半导体基板的另一表面侧的源极区域;和
从所述第二半导体基板的一个表面侧延伸且到达所述第二半导体基板的另一表面侧的漏极区域,
所述源极区域连接到信号线,所述信号线用于传输来自所述第二半导体基板的位于与所述第一半导体基板面对着的表面的相反侧处的表面侧的所述电气信号,并且
所述漏极区域从所述第二半导体基板的位于与所述第一半导体基板面对着的表面的相反侧处的表面侧连接到电源电位。
5.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其中,
所述第二半导体基板包括布置在与所述第一半导体基板面对着的一侧上的第二晶体管,所述第二晶体管包括:
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸的沟道;和
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸且将所述沟道夹在中间的多栅,
并且所述第二晶体管的所述多栅连接到信号线,所述信号线用于传输来自所述第二半导体基板的位于与所述第一半导体基板面对着的表面的相反侧处的表面侧的所述电气信号。
6.根据权利要求5所述的固体摄像元件,其中,
所述第一晶体管是放大晶体管,所述放大晶体管放大从所述光电转换元件输出的所述电气信号,并且
所述第二晶体管是复位晶体管,所述复位晶体管将所述放大晶体管的所述多栅的电位复位为电源电位。
7.根据权利要求6所述的固体摄像元件,其中,
所述第二半导体基板包括选择晶体管,所述选择晶体管选择是否把由所述放大晶体管放大的所述电气信号传输到所述信号线。
8.根据权利要求6所述的固体摄像元件,还包括:
第三半导体基板,其面对所述第二半导体基板,且布置在所述第二半导体基板的与所述第一半导体基板相反的一侧上,
其中,所述第三半导体基板包括选择晶体管,所述选择晶体管选择是否把由所述放大晶体管放大的所述电气信号传输到所述信号线。
9.根据权利要求6所述的固体摄像元件,其中,
所述第一半导体基板包括传输晶体管,所述传输晶体管将从所述光电转换元件输出的所述电气信号传输到所述放大晶体管。
10.一种视频记录装置,包括:
固体摄像元件;
光学系统,其摄取来自被摄体的入射光,以在所述固体摄像元件的摄像面上成像;和
信号处理电路,其对来自所述固体摄像元件的输出信号进行处理,
其中,所述固体摄像元件包括:
第一半导体基板,其包括用于临时保持从光电转换元件输出的电气信号的浮动扩散部;和
第二半导体基板,其面对所述第一半导体基板,
所述第二半导体基板包括布置在与所述第一半导体基板面对着的一侧上的第一晶体管,所述第一晶体管包括:
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸的沟道;和
沿着所述第二半导体基板的厚度方向延伸且将所述沟道夹在中间的多栅,
并且所述第一晶体管的所述多栅连接到所述浮动扩散部。
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