[发明专利]粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法

说明书

本发明提供一种粉末供给装置,其用于自送料器向喷嘴供给粉末,该粉末供给装置包括:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部用于在气密状态下收纳上述粉末；以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部；补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器用于将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。

技术领域

本发明涉及粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法。

背景技术

如下喷镀装置为人所知:对自充填有惰性气体的容器供给的喷镀材料的粉末进行加热而使其熔融,并且通过将熔融的粉末喷附于被处理对象物而在被处理对象物上形成喷镀膜(例如,参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本国特开2014-172696号公报

发明内容

本发明要解决的问题

本发明提供一种能够不与水分、氮、以及氧反应地向送料器的容器中补给粉末的技术。

用于解决问题的手段

根据本发明的一个方式的粉末供给装置是用于自送料器向喷嘴供给粉末的粉末供给装置,该粉末供给装置具有:盒部,其具有:口部,其用于放入、取出粉末；以及开闭阀,其用于开闭上述口部,并且该盒部在气密状态下收纳上述粉末；以及送料器,其具有:连接部,其用于可装卸地连接上述盒部；补给口,其用于将与上述连接部连接的上述盒部内的上述粉末补给至上述送料器内；以及开闭阀,其用于开闭上述补给口,并且该送料器将自上述补给口补给的上述粉末投入上述喷嘴,上述盒部以及上述送料器通过上述盒部连接于上述连接部,从而在上述口部与上述补给口之间形成密闭空间。

发明的效果

根据本发明,能够不与水分、氮、以及氧反应地向送料器的容器中补给粉末。

附图说明

图1是示出第一实施方式的等离子体喷镀装置的构成例的剖视图。

图2是示出图1的等离子体喷镀装置的粉末补给机构的图。

图3是示出图1的等离子体喷镀装置的回收废弃机构的图。

图4是示出等离子体喷镀装置的动作的一个例子的工序图(1)。

图5是示出等离子体喷镀装置的动作的一个例子的工序图(2)。

图6是示出等离子体喷镀装置的动作的一个例子的工序图(3)。

图7是示出等离子体喷镀装置的动作的一个例子的工序图(4)。

图8是示出第一变形例的粉末补给机构的图。

图9是示出第二变形例的粉末补给机构的图。

图10是示出第三变形例的粉末补给机构的图。

图11是示出第四变形例的粉末补给机构的图。

图12是示出第五变形例的粉末补给机构的图。

图13是示出图12的粉末补给机构的闸门部的其他的构成例的图。

图14是图13的闸门部的动作的说明图(1)。

图15是图13的闸门部的动作的说明图(2)。

图16是图13的闸门部的动作的说明图(3)。