[发明专利]放射线检测装置在审

专利信息
申请号: 201980069231.9 申请日: 2019-10-16
公开(公告)号: CN112912769A 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 岛田修;本村知久;谷森达;高田淳史 申请(专利权)人: 大日本印刷株式会社
主分类号: G01T1/18 分类号: G01T1/18;H01J47/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴秋明
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 放射线 检测 装置
【说明书】:

一种放射线检测装置,具有检测元件、布线层和电路元件,所述检测元件包括:基材,具有第1面以及第1面的相反侧的第2面;第1电极,配置在第1面;第2电极,在第1方向上与第1电极相邻;第3电极,在与第1方向交叉的第2方向上与第1电极相邻;第4电极,在第1方向上与第3电极相邻,在第2方向上与第2电极相邻;和配置在基材的第1面上,设置在第1电极与第2电极之间、第1电极与第3电极之间、第2电极与第4电极之间以及第3电极与第4电极之间的第5电极,布线层配置在第2面侧,包含与第1电极连接的第1布线、与第2电极连接的第2布线、与第3电极连接的第3布线以及与第4电极连接的第4布线,电路元件与布线层对置地配置,与第1布线、第2布线、第3布线以及第4布线连接。

技术领域

本公开涉及放射线检测装置。

背景技术

基于像素型电极的气体电子放大型的放射线检测装置的研究正在推进。这样的放射线检测装置通过使用像素型电极来检测放射线。此时,能够检测带电粒子的轨迹(例如参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2002-6047号公报

专利文献2:日本专利5790750号公报

专利文献3:日本专利5515881号公报

发明内容

发明要解决的课题

根据在专利文献1~3中公开的放射线检测装置,由于放射线(带电粒子)与气体进行相互作用而产生电子,在像素型电极中捕捉该电子,由此间接地检测放射线。在该情况下,在像素型电极中使用的阳极电极以及阴极电极分别在正交的方向上连接,信号被检测为X方向、Y方向上的矩阵,从装置端部进行信号的取出。然而,在使用了该检测方法的情况下,在分隔开的场所中同时产生了检测信号的情况下,存在难以将这些信号分离的情况。

此外,在以往的检测方法的情况下,检测元件隔着设置在元件端部的布线基板等与周边电路连接,但是由于微弱信号而容易载入噪声,因此存在检测精度下降的情况。

此外,如专利文献2那样,为了保护微弱信号,需要屏蔽构件(未图示)。

本公开的目的之一在于,提供一种位置检测精度高的放射线检测装置。

用于解决课题的手段

在本公开的一个实施方式中,提供一种放射线检测装置,其具有检测元件、布线层和电路元件,所述检测元件:基材,具有第1面以及第1面的相反侧的第2面;第1电极,配置在第1面;第2电极,在第1方向上与第1电极相邻;第3电极,在与第1方向交叉的第2方向上与第1电极相邻;第4电极,在第1方向上与第3电极相邻,在第2方向上与第2电极相邻;和配置在基材的第1面上,设置在第1电极与第2电极之间、第1电极与第3电极之间、第2电极与第4电极之间以及第3电极与第4电极之间的第5电极,所述布线层配置在第2面侧,包含与第1电极连接的第1布线、与第2电极连接的第2布线、与第3电极连接的第3布线以及与第4电极连接的第4布线,所述电路元件与布线层对置地配置,与第1布线、第2布线、第3布线以及第4布线连接。

在上述放射线检测装置中,也可以是,第1电极、第2电极、第3电极以及第4电极具有从第1面贯通到第2面的部分。

在上述放射线检测装置中,也可以是,第5电极具有包围第1电极的第1开口部、包围第2电极的第2开口部、包围第3电极的第3开口部以及包围第4电极的第4开口部。

在上述放射线检测装置中,也可以是,第1开口部、第2开口部、第3开口部以及第4开口部具有圆形形状。

在上述放射线检测装置中,也可以是,还包含第2检测元件,与检测元件分隔开地设置。

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