[发明专利]表面处理液和含镍材料的表面处理方法

说明书

提供在蚀刻含镍材料时的污物形成受到抑制、能够提高抗蚀图案与含镍材料的密合性的含镍材料用的表面处理液；以及使用其的含镍材料的表面处理方法。一种用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液、以及具有使该表面处理液接触含镍材料的表面的工序的含镍材料的表面处理方法。表面处理液是水溶液，其含有：(A)铁离子0.05～5质量％；(B)无机酸0.5～20质量％；(C)选自由柠檬酸三铵、乳酸铵、甲酸铵、柠檬酸氢二铵、乙醇酸铵和苹果酸铵组成的组中的至少1种化合物1～20质量％；以及水。

技术领域

本发明涉及用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液、以及使用其的含镍材料的表面处理方法。更详细而言，涉及用于对Fe-Ni36％等殷钢材料、奥氏体系不锈钢等含镍材料的表面进行处理的表面处理液和使用其的含镍材料的表面处理方法。

背景技术

含镍材料被用于印刷电路板、引线框、连接器端子、封装基板等精密电子部件；荫罩等高清晰显示器用部件等。其中，殷钢材料因热膨胀率小而适合用于这些部件等。

已知通过湿蚀刻法对形成有抗蚀图案的金属材料进行加工而形成细线的技术。在湿蚀刻法中，有时会在金属材料的表面形成被称为“污物(smut)”的微粉状异物，金属材料与抗蚀图案之间的密合性有时会降低。因而，开发了通过使用表面处理液对金属材料的表面进行处理而抑制污物的形成，使金属材料与抗蚀图案的密合性提高的方法。

例如，专利文献1中，作为用于使镀铜基板与干膜抗蚀剂的密合性提高的表面处理剂，公开了含有过氧化氢、无机酸、唑类、银离子和卤素离子的表面处理剂。此外，专利文献2公开了含有含氮杂环式化合物且含有无机酸、有机酸等酸的铜或铜合金用表面处理剂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-003283号公报

专利文献2：日本特开2008-045156号公报

发明内容

发明要解决的问题

专利文献1和2中公开的表面处理剂对于铜而言在某种程度上是有效的。然而，即便对殷钢材料、奥氏体系不锈钢等含镍材料应用这些表面处理剂，也难以抑制污物的形成，无法提高湿蚀刻后的含镍材料与抗蚀图案之间的密合性。若含镍材料等的基板与抗蚀图案之间的密合性低，则抗蚀图案会变得容易剥离，难以形成与抗蚀图案相符的微细布线。因此，期望能够抑制污物的形成、能够提高含镍材料与抗蚀图案之间的密合性的表面处理液。

因此，本发明是为了解决上述问题而进行的，其课题在于，提供在蚀刻含镍材料时污物的形成受到抑制、能够提高抗蚀图案与含镍材料的密合性的含镍材料用的表面处理液。此外，本发明的课题在于，提供使用上述表面处理液的含镍材料的表面处理方法。

用于解决问题的方案

本发明人等反复深入研究的结果发现：属于含有特定成分的水溶液的含镍材料表面处理液能够解决上述问题，从而完成了本发明。

即，根据本发明，提供一种表面处理液，其是用于对含镍材料的表面进行处理的表面处理液，且其为含有以下成分的水溶液：(A)铁离子0.05～5质量％；(B)无机酸0.5～20质量％；(C)选自由柠檬酸三铵、乳酸铵、甲酸铵、柠檬酸氢二铵、乙醇酸铵和苹果酸铵组成的组中的至少1种化合物1～20质量％；以及水。

此外，根据本发明，可提供一种含镍材料的表面处理方法，其具有：使上述表面处理液接触含镍材料的表面的工序。

发明的效果