[发明专利]具有阶梯式慢轴准直器的激光系统

权利要求书

1.一种激光系统，包括：

多个光束发射器，每个光束发射器发射一个或多个光束；

色散元件，用于接收光束并在波长光束组合(WBC)维度将光束组合成多波长光束；

多个准直器，设置在光束发射器的光学的下游和色散元件的光学的上游，其中每个准直器从光束发射器接收一个或多个光束并在非WBC维度准直所述一个或多个光束；

多个交错反射镜，设置在光束发射器的光学的下游和色散元件的光学的上游，其中每个交错反射镜将来自光束发射器的一个或多个光束朝向色散元件反射；以及

部分反射输出耦合器，用于接收来自色散元件的多波长光束、透射多波长光束的第一部分作为输出光束，并将多波长光束的第二部分朝向色散元件反射回去，

其中：

色散元件在非WBC维度以非零角度倾斜，使得来自色散元件的光束的第一阶反射指向远离光束发射器的方向，从而将指向误差引入多波长光束，

交错反射镜中的一个或多个在非WBC维度以非零角度倾斜，以降低多波长光束的指向误差，从而在非WBC维度在色散元件处将光束拖影引入，以及

准直器中的两个或多个的光轴在非WBC维度彼此偏移，从而降低由倾斜的交错反射镜引起的光束拖影。

2.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述非WBC维度对应于所述光束的慢轴。

3.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述非WBC维度对应于所述光束的快轴。

4.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述色散元件包括衍射光栅。

5.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述光束发射器中的至少一个包括二极管条，配置为发射多个离散的光束。

6.根据权利要求1所述的激光系统，其中，对于第一光束发射器：

色散元件在非WBC维度的倾斜引入具有第一角度的指向误差；以及

与第一光束发射器相关联的交错反射镜在非WBC维度以第二角度倾斜。

7.根据权利要求6所述的激光系统，其中，所述第二角度近似等于所述第一角度。

8.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所有的交错反射镜在所述非WBC维度以非零角度倾斜。

9.根据权利要求1所述的激光系统，其中，交错反射镜中的至少两个在非WBC维度以不同的角度倾斜。

10.根据权利要求1所述的激光系统，其中，除一个交错反射镜外，所有交错反射镜都在非WBC维度以非零角度倾斜。

11.根据权利要求10所述的激光系统，其中，与中心光束发射器相关联的交错反射镜在非WBC维度不以非零角度倾斜。

12.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述交错反射镜中的两个或多个在非WBC维度不以非零角度倾斜。

13.根据权利要求1所述的激光系统，进一步包括，与每个光束发射器相关联的(i)第二准直器，以及(ii)用于将一个或多个光束旋转大约90°的光学旋转器。

14.根据权利要求13所述的激光系统，其中，每个准直器为慢轴准直器，并且每个第二准直器为快轴准直器。

15.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述多个交错反射镜设置在所述多个准直器的光学上的下游。

16.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述准直器中的每个与所述色散元件之间的光学距离大致相等。

17.根据权利要求1所述的激光系统，其中，所述准直器中的两个或多个的高度是不同的。