[发明专利]感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、

(B)聚合性单体、

(C)光聚合引发剂、和

(D)紫外线吸收剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体，

[化29]

式(1)中，X₁为具有1个以上芳香族基团的4价基团，-COOR₁基与-CONH-基彼此处于邻位，-COOR₂基与-CO-基彼此处于邻位，Y₁为具有1个以上芳香族基团的2价基团，R₁和R₂各自独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团、或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R₁和R₂的至少一方为所述式(2)所表示的基团，

[化30]

式(2)中，R₃～R₅各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含：具有包含聚合性不饱和双键的基团的聚合性单体。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，所述包含聚合性不饱和双键的基团大于或等于2个。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述聚合性单体具有脂肪族环状骨架。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(3)所表示的聚合性单体，

[化31]

式(3)中，R₆和R₇各自独立地为碳原子数1～4的脂肪族烃基或下述式(4)所表示的基团，n1为0或1，n2为0～2的整数，n1+n2大于或等于1，n1个R₆和n2个R₇中的至少一者为下述式(4)所表示的基团，

[化32]

式(4)中，R₉～R₁₁各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，l为0～10的整数。

7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，n1+n2为2或3。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(5)所表示的聚合性单体，

[化33]

9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分在10mg/L的浓度下在365nm时的吸光度大于或等于0.1。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为选自由苯并三唑系化合物、二苯甲酮系化合物、偶氮苯系化合物和多酚系化合物组成的组中的一种以上。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为选自由2-(2H-苯并三唑-2-基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-双(1-甲基-1-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-对甲酚、2,2′,4,4′-四羟基二苯甲酮、2,2′-二羟基-4,4′-二甲氧基二苯甲酮、4-[乙基(2-羟基乙基)氨基]-4′-硝基偶氮苯、(1E,6E)-1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、和1,7-双(4-羟基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮组成的组中的一种以上。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂组合物，其进一步包含(I)热聚合引发剂。