[发明专利]旋转组合及工件加工系统

权利要求书

1.一种旋转组合，包括：

内轴，其中所述内轴是能够旋转的且包括内部通道，所述内部通道能够操作以将低温流体递送至台板；

旋转组合轴，环绕所述内轴；以及

密封组件，耦合至所述旋转组合轴，所述密封组件包括：

支撑件；

金属波纹管，围绕所述支撑件的外部延伸；

密封支撑件，耦合至所述金属波纹管，所述密封支撑件围绕所述支撑件延伸；

非旋转密封部件，连接至所述密封支撑件；以及

旋转密封部件，邻接所述非旋转密封部件。

2.根据权利要求1所述的旋转组合，还包括：

旋转组合轴承壳体，环绕所述密封组件及所述旋转组合轴；以及

至少一个轴承，设置于所述旋转组合轴承壳体与所述旋转组合轴之间。

3.根据权利要求1所述的旋转组合，还包括环绕所述内轴的中间管，其中所述中间管的第一端部耦合至所述旋转组合轴，且其中所述中间管的第二端部耦合至所述台板。

4.根据权利要求1所述的旋转组合，所述密封支撑件包括：

基座，自所述支撑件的外表面沿径向延伸；以及

侧壁，自所述基座延伸。

5.根据权利要求4所述的旋转组合，其中所述非旋转密封部件定位于所述侧壁与所述支撑件的所述外表面之间。

6.根据权利要求1所述的旋转组合，所述密封组件更包括环绕所述内轴的嵌件，所述嵌件沿所述旋转组合轴的内通道壁延伸。

7.根据权利要求6所述的旋转组合，其中所述能够旋转的密封部件环绕所述嵌件。

8.根据权利要求6所述的旋转组合，其中所述支撑件包括内部空腔，且其中所述嵌件延伸至所述内部空腔中。

9.一种工件加工系统，包括：

加工腔室，容纳台板；

旋转组合，耦合至所述台板，所述旋转组合包括：

内轴，其中所述内轴是能够旋转的且包括内部通道，所述内部通道能够操作以将低温流体递送至所述台板；

旋转组合轴，环绕所述内轴；以及

密封组件，耦合至所述旋转组合轴，所述密封组件包括：

支撑件；

金属波纹管，围绕所述支撑件的外部延伸；

密封支撑件，耦合至所述金属波纹管，所述密封支撑件围绕所述支撑件延伸；

非旋转密封部件，安置于所述密封支撑件中；以及

旋转密封部件，邻接所述非旋转密封部件。

10.根据权利要求9所述的工件加工系统，还包括：

旋转组合轴承壳体，环绕所述密封组件及所述旋转组合轴；以及

至少一个轴承，设置于所述旋转组合轴承壳体与所述旋转组合轴之间。

11.根据权利要求9所述的工件加工系统，所述旋转组合更包括环绕所述内轴的中间管，其中所述中间管的第一端部耦合至所述旋转组合轴，且其中所述中间管的第二端部耦合至所述台板。

12.根据权利要求9所述的工件加工系统，所述密封支撑件包括：

基座，自所述支撑件的外表面沿径向延伸；以及

侧壁，自所述基座延伸，其中所述非旋转密封部件定位于所述侧壁与所述支撑件的所述外表面之间。

13.根据权利要求9所述的工件加工系统，所述密封组件更包括环绕所述内轴的嵌件，所述嵌件沿所述旋转组合轴的内通道壁延伸。

14.根据权利要求13所述的工件加工系统，其中所述能够旋转的密封部件环绕所述嵌件。

15.根据权利要求13所述的工件加工系统，其中所述支撑件包括内部空腔，且其中所述嵌件延伸至所述内部空腔中。