[发明专利]物理量测定装置

说明书

本发明提供一种物理量测定装置，其相较于以往而言能够提高热式空气流量传感器的测定精度，并且能够防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部的密封。物理量测定装置(20)具备：引线框(208f)，其具有安装有作为热式空气流量传感器的流量传感器(205)的安装面(f1)；以及流路形成构件(209)，其配置在与该安装面(f1)相反的引线框的背面(f2)上。通气流路(210)由以下部分形成：第1贯通孔(211)，其设置在引线框上，与流量传感器(205)的空洞部(205c)连通；第2贯通孔(212)，其设置在引线框上，在安装面(f1)上开口；以及连接流路(213)，其划定在引线框和流路形成构件(209)之间，连接第1贯通孔(211)和第2贯通孔(212)。

技术领域

本公开涉及物理量测定装置。

背景技术

以往，热式空气流量传感器的发明是已知的(参照下述专利文献1)。专利文献1所记载的发明的目的在于提供一种检测精度高的热式空气流量传感器(参照该文献、第0005段等)。作为解决该课题的手段，专利文献1公开了具备以下结构的热式空气流量传感器。

专利文献1的热式空气流量传感器具有半导体元件、支承构件、薄片粘接剂和连通通道。半导体元件具有在隔膜上形成的发热电阻体。支承构件具有：搭载半导体元件的一侧的搭载面；以及一方在搭载面中与隔膜的背面侧对应的区域开口的孔。薄片粘接剂粘接半导体元件和支承构件，具有孔。连通通道使用形成于支承构件的孔和形成于薄片粘接剂的孔形成(参照该文献、权利要求1等)。

该以往的热式空气流量传感器通过上述连通流路防止隔膜的背面侧的空洞部被密封。更具体地说，由设置在支承构件上的槽和引线框形成连通通道，经由该连通通道使支承构件的空洞区域的换气孔和没有半导体元件的区域的换气孔连通(参照该文献、第0017段、图4等)。另外，在引线框上形成槽，由支承构件和引线框构成连通通道的情况下也能够得到同样的效果(参照该文献、第0019段等)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2015-025822号公报

发明内容

发明要解决的问题

在包含热式空气流量传感器的物理量测定装置中，要求进一步提高测定精度，并且需要如上述现有的热式空气流量传感器的连通通道那样防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部的密封的结构。

本公开提供一种物理量测定装置，其相较于以往而言能够提高热式空气流量传感器的测定精度，并且能够防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部的密封。

解决问题的技术手段

本公开的一个方面是一种物理量测定装置，该物理量测定装置具备热式空气流量传感器和防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部密闭的通气流路，该物理量测定装置的特征在于，具备：引线框，其具有安装有所述热式空气流量传感器的安装面；以及流路形成构件，其配置在该引线框的与所述安装面相反的背面，所述通气流路由以下部分形成：第1贯通孔，其设置在所述引线框上，与所述空洞部连通；第2贯通孔，其设置在所述引线框上，在所述安装面上开口；以及连接流路，其划定在所述引线框和所述流路形成构件之间，连接所述第1贯通孔和所述第2贯通孔。

发明的效果

根据本公开的上述一个方式，能够提供一种物理量测定装置，其相较于以往而言能够提高热式空气流量传感器的测定精度，并且能够防止热式空气流量传感器的隔膜的背面侧的空洞部的密封。

附图说明

图1是表示电子燃料喷射方式的内燃机控制系统的一例的系统图。

图2是图1所示的内燃机控制系统中使用的物理量测定装置的主视图。

图3是卸下了图2所示的物理量测定装置的盖罩的状态的主视图。

图4是图3所示物理量测定装置的芯片封装件的截面图。