[发明专利]具有垂直铰链的MEMS显示装置

说明书

一种微机电系统装置，包括：基板，每个电路，止蚀层和安装在该基板上的铰链基座；以及与该电路连接的电极。铰链安装在基座上，并由掺杂半导体制成。铰链包括从基座垂直延伸的垂直支撑件，水平延伸的铰接片接触垂直支撑件。该装置还包括可移动的反射镜和反射镜通孔，该反射镜通孔将反射镜连接到铰接片。响应于在电极与反射镜之间施加电压，反射镜被静电吸引到电极上，反射镜的移动改变了铰接片与垂直支撑件之间的相对位置。止动件安装在基板上，在反射镜接触电极或止蚀层之前机械地停止反射镜移动。

相关申请

本申请要求2018年9月29日提交的美国临时申请专利62/739,175的优先权和权益，其全部公开内容通过引用并入本文。本申请涉及美国专利7,183,618和美国专利8,331,010，其均通过引用整体并入本文。

技术领域

本公开涉及具有支撑可移动的反射镜的垂直铰链的微机电系统(MEMS)显示装置。

背景技术

在显示器中使用的MEMS装置可以具有垂直铰链以支撑反射镜在ON位置和OFF位置之间切换。具有精确定位的垂直铰链是可取的。

发明内容

MEMS装置包括：基板；安装在该基板上的电子电路；以及电连接至该电子电路的电极。MEMS装置还包括安装在基板上的止蚀层、安装在基板上的铰链基座以及安装在铰链基座上的铰链。铰链包括从铰链基座垂直延伸的垂直支撑件和与垂直支撑件接触的水平延伸的铰接片，其中铰链由掺杂半导体制成。MEMS装置还包括可移动的反射镜和反射镜通孔，该反射镜通孔将可移动的反射镜连接到铰接片。可移动的反射镜响应于在电极与可移动的反射镜之间施加电压而被静电吸引到电极上，并且可移动的反射镜的移动改变了铰接片与垂直支撑件之间的相对位置。MEMS装置包括安装在基板上的止动件，该止动件在可移动的反射镜接触电极或止蚀层之一之前机械地停止可移动的反射镜移动。掺杂半导体可以是原位非晶硅。

下面参考附图描述该实施方式的细节以及本文的教导的该实施方式和其他实施方式的变型。

附图说明

结合附图并根据以下详细描述可以更好地理解本公开。要强调的是，根据惯例，附图的各个特征未按比例绘制。相反，为了清楚起见，各种特征的尺寸被任意地扩大或缩小。

图1是根据本文教导的第一实施方式的MEMS装置的透视图。

图2是图1的MEMS装置在OFF位置的侧视图。

图3是图1的MEMS装置在ON位置的侧视图。

图4是根据本文教导的第二实施方式的MEMS装置的透视图。

图5是图4的MEMS装置在OFF位置的侧视图。

图6是根据本文教导的第三实施方式的MEMS装置的透视图。

图7是图6的MEMS装置在OFF位置的侧视图。

图8是根据本文教导的第四实施方式的MEMS装置的透视图。

图9是图8的MEMS装置在OFF位置的侧视图。

图10是根据本文教导的第五实施方式的MEMS装置的透视图。

图11是图10的MEMS装置在OFF位置的侧视图。

图12是根据本文教导的铰链的两个不同视图。

图13是根据第一变型的铰链的照片。

图14是根据第二变型的铰链的照片。

图15是根据第三变型的铰链的照片。

图16是用于解释根据本文教导的MEMS装置示例的详细构造的截面图。