[发明专利]提供经过训练的神经网络以及确定实体系统的特性

权利要求书

1.一种提供经过训练的神经网络的方法，所述方法包括以下步骤：

-提供神经网络，其中基于由实体系统的材料结构沿辐射的路径对所述辐射进行散射的模型来配置所述神经网络的网络架构；以及

-训练所述神经网络。

2.一种确定具有材料结构的实体系统的特性的方法，所述方法包括以下步骤：

-接收经过训练的神经网络，其中基于由所述材料结构沿辐射的路径对所述辐射进行散射的模型来配置所述经过训练的神经网络的网络架构；以及

-使用所述经过训练的神经网络来确定所述实体系统的所述特性。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中基于所述模型通过配置选自由以下各项组成的组的参数来配置所述网络架构：每个隐藏层的单元的数目、隐藏层的数目、层互连和丢弃。

4.根据任一前述权利要求所述的方法，其中提供神经网络的步骤包括：基于在所述辐射的散射的所述模型中的辐射的反射来提供位于非相邻的神经网络层之间的一个或更多个跳跃式连接。

5.根据任一前述权利要求所述的方法，其中所述神经网络的不同的隐藏层对应于由所述实体系统的不同的相应部分沿所述辐射的路径对所述辐射进行的不同散射，

并且其中可选地，所述部分包括材料不连续部分。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述部分包括不同的材料层之间的界面。

7.根据任一前述权利要求所述的方法，其中提供所述神经网络的步骤包括：在隐藏层中以与由所述材料结构对所述辐射进行的不同的相应类型的散射相对应的方式提供不同的单元，

并且其中可选地，所述辐射的与不同的单元对应的所述不同的相应类型的散射选自由以下各项组成的散射类型的组：反射、透射、吸收、折射、衍射、干涉、偏振、色散、弹性散射、和非弹性散射。

8.根据任一前述权利要求所述的方法，其中所述实体系统包括光学系统且所述特性包括所述光学系统的光学响应。

9.根据任一前述权利要求所述的方法，其中所述实体系统包括声学系统且所述特性包括所述声学系统的声学响应。

10.根据任一前述权利要求所述的方法，其中所述实体系统包括位于衬底上的多层。

11.根据任一前述权利要求所述的方法，其中具有基于所述模型来配置的架构的所述神经网络进一步与第二神经网络并联地设置，并且其中所述神经网络和所述第二神经网络共享相同的输入和输出。

12.一种数据处理设备，所述数据处理设备包括神经网络，该神经网络的网络架构是基于由实体系统的材料结构沿辐射的路径对所述辐射进行散射的模型来被配置的。

13.一种检查设备或量测设备，所述检查设备或量测设备用于重构具有材料结构的实体系统的近似结构，所述检查系统包括：

-照射系统，所述照射系统被配置成利用辐射来照射所述实体系统；

-检测系统，所述检测系统被配置成检测所述实体系统的由所述照射引起的检测特性；以及

-处理器，所述处理器被配置成：

-使用根据权利要求1至11中任一项所述的方法来确定所述实体系统的至少一个模型特性；以及

根据所述实体系统的所述检测特性与所述至少一个模型特性之间的差值来确定所述实体系统的近似结构。

14.一种光刻单元，所述光刻单元包括根据权利要求13所述的检查设备或量测设备。

15.一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括用于使通用数据处理设备执行根据权利要求1至11中任一项所述的方法的步骤的机器可读指令。