[发明专利]使用由啁啾的声学信号驱动的声光偏转器来扫描光束的方法

权利要求书

1.一种使用具有沿着Z轴的光轴和至少一个声光晶体层(14)的第一声光偏转器(15、15’)用光束(50)扫描的方法，其特征在于，将所述光束(50)指引到所述第一声光偏转器(15、15’)，并通过所述第一声光偏转器(15、15’)使所述光束(50)沿垂直于所述Z轴的X轴偏转，在此期间通过以下在所述声光偏转器(15、15’)的至少一个声光晶体层(14)中生成多个声学啁啾信号(30)：

-在所述声光晶体层(14)中生成持续时间为τ的第一声学啁啾信号(30a)，然后

-在从开始生成所述第一声学啁啾信号(30a)起计数的时间段τ内在所述声光晶体层(14)中生成第二声学啁啾信号(30b)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在开始生成所述第一声学啁啾信号(30a)之后的时刻τ/5与τ/2之间，优选地在时刻τ/3时，开始生成所述第二声学啁啾信号(30b)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在开始生成所述第二声学啁啾信号(30b)之后的时间段τ内生成第三声学啁啾信号(30c)。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在开始生成所述第一声学啁啾信号(30a)之后的时刻τ/2与4τ/5之间，优选地在时刻2τ/3时，开始生成所述第三声学啁啾信号(30b)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，通过将具有持续时间τ的第一电压信号施加至单个电声波发生器(17)因此生成第一声学啁啾信号(30a)，然后在开始生成所述第一声学啁啾信号(30a)之后的持续时间τ内将第二电压信号施加至所述电声波发生器(17)因此生成第二声学啁啾信号(30b)，使用所述电声波发生器(17)生成声学啁啾信号(30)，所述电声波发生器(17)连接至所述晶体层(14)。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，通过以下，由连接至所述晶体层(14)的多个电声波发生器(17)生成声学啁啾信号(30)：

-将具有持续时间τ的第一电压信号施加至第一电声波发生器(17a)因此生成第一声学啁啾信号(30a)，

-在开始生成所述第一声学啁啾信号(30a)之后的持续时间τ内将第二电压信号施加至第二电声波发生器(17b)因此生成第二声学啁啾信号(30b)。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，以各种扫动率生成声学啁啾信号(30)，且将穿过所述声光晶体层(14)的所述光束(50)聚焦在沿着所述Z轴的各种深度处。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的方法，其特征在于，使用在所述第一声光偏转器(15)之后布置的光学元件，优选地物镜，聚焦离开所述声光晶体层(14)的所述光束，所述光束根据所述声学啁啾信号(30)的扫动率的代数符号来发散和/或会聚。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，沿着所述X轴，使用所述第一声学啁啾信号(30a)将所述光束(50)聚焦到具有第一坐标X1的第一点，并且使用所述第二声学啁啾信号(30b)将所述光束(50)聚焦到具有第二坐标X2的第二点。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，通过实质上与所述第一声学啁啾信号(30a)同时生成所述第二声学啁啾信号(30b)来创建叠加的声波(31)，使用所述叠加的声波(31)沿着所述X轴将所述光束(50)分束成两个束，并且将它们偏转到各个方向中。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，通过以下在所述声光晶体层(14)中连续地创建多个叠加的声波(31)。

-在所述声光晶体层(1)中以τ’的持续时间生成第一叠加的声波(31a)，然后

-在开始生成所述第一叠加的声波(31a)之后的时间段τ’内生成第二叠加的声波(31b)。