[发明专利]带有有机功能膜的基板的制造方法在审
申请号: | 201980062542.2 | 申请日: | 2019-09-24 |
公开(公告)号: | CN112771995A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 柴田知佳 | 申请(专利权)人: | 日产化学株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;B05D1/26;B05D3/12;B05D7/00;H01L51/50;H05B33/22 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 刘强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 有机 功能 制造 方法 | ||
采用下述制造方法,能够得到抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的电子元件,所述制造方法是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的电子元件的制造方法,其包括:将包含有机功能材料成分和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序,溶剂中的三甘醇的含量为3~17质量%。
技术领域
本发明涉及带有有机功能膜的基板的制造方法。
背景技术
在有机电致发光(以下称为有机EL)元件中,作为发光层、电荷注入层,使用包含有机化合物的有机功能膜。特别地,空穴注入层承担阳极与空穴传输层或发光层的电荷的授受,为了实现有机EL元件的低电压驱动和高亮度而发挥重要的功能。
空穴注入层的形成方法大致分为以蒸镀法为代表的干法和以旋涂法为代表的湿法,如果将这些方法进行比较,湿法能够大面积地高效率地制造平坦性高的薄膜。因此,在进行着有机EL显示器的大面积化的现在,希望有可采用湿法形成的空穴注入层,报道了有关可采用湿法成膜的空穴注入层的技术(例如参照专利文献1)。
此外,在有机EL显示器的制造中,在采用湿法形成空穴注入层、其他的有机功能层的情况下,一般地,以将层的形成区域包围的方式设置隔壁(围堰),在该隔壁的开口部内涂布有机功能墨。
此时,有时发生在开口部内涂布的墨在隔壁的侧面攀爬、与隔壁的侧面接触的涂膜周缘部的厚度变得比涂膜中央部厚的所谓攀爬(累积)现象。
这样的攀爬现象引起如下事态:没有如设计那样遵守在电极间形成的多个有机功能层的层叠顺序,形成漏电流流路。其结果,不能实现所期望的元件特性。另外,攀爬的空穴注入层等有机功能层可引起得到的有机EL元件的发光不均。
在这方面,在专利文献2、3中提出了抑制攀爬现象的手段,鉴于使用了湿法的有机EL显示器的开发进一步加速的目前的状况,对于有关这样的攀爬现象的抑制的技术的要求进一步提高。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开第2008/032616号
专利文献2:日本特开2009-104859号公报
专利文献3:日本特开2011-103222号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明鉴于上述实际情况而完成,目的在于提供抑制攀爬现象、具有均匀的膜厚的有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法。
用于解决课题的手段
本发明人为了实现上述目的而反复深入研究,结果发现:通过使用包含三甘醇的溶剂作为有机功能墨的溶剂,从而在将该墨采用喷墨涂布在隔壁内涂布的情况下,能够制作极力抑制了墨的攀爬的薄膜,完成了本发明。
即,本发明提供:
1.带有有机功能膜的基板的制造方法,是具有基板、在该基板上规定开口部的隔壁和在该隔壁内具有有机功能膜的带有有机功能膜的基板的制造方法,其特征在于,包括:将包含有机功能材料和包含三甘醇的溶剂的有机功能墨在所述隔壁内采用喷墨法涂布的工序、通过减压从而从在所述隔壁内涂布了的有机功能墨中将溶剂除去以形成有机功能膜的工序,所述溶剂中的三甘醇的含量为3~17质量%;
2.1的带有有机功能膜的基板的制造方法,其中,在通过所述减压从而将溶剂成分除去后,包括进行加热的工序;
3.1或2的带有有机功能膜的基板的制造方法,其中,所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇溶剂;
4.1~3中任一项的带有有机功能膜的基板的制造方法,其中,所述溶剂包含沸点比三甘醇低的二醇醚溶剂;
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