[发明专利]流体模块

权利要求书

1.一种流体模块，搭载于工具更换装置，所述工具更换装置包括：主盘，安装于机械臂；及工具盘，以可拆装的方式安装于所述主盘，供工具安装，

所述流体模块包括配设于所述主盘的板状主侧单元、及配设于所述工具盘的板状工具侧单元，

所述主侧单元包括：

纵流路，在其下表面侧开口，沿着厚度方向延伸；

横流路，在其侧面侧开口，与所述纵流路连通；

芯棒，前端从所述纵流路的开口突出，以在与所述纵流路的侧周面之间产生空隙的方式被固定；

可动构件，俯视下为位于所述纵流路及所述芯棒之间的筒状，且构成为将其外周面及所述纵流路的侧周面间维持为水密封，并且可沿着厚度方向移动；及

施力构件，对所述可动构件向下方施力；

所述工具侧单元包括：

纵流路，在其上表面侧开口，沿着厚度方向延伸；及

爪部，在将所述工具盘安装于所述主盘时抵接于所述可动构件，由此将所述可动构件相对地推向上方，

在所述主盘安装了所述工具盘时，所述工具侧单元的纵流路构成为与所述可动构件的外周面水密地嵌合，并且可与所述主侧单元的纵流路连通，

所述芯棒包括具有侧周面的柱状部，当从所述主盘卸下所述工具盘时，所述侧周面与所述可动构件的内周面水密地嵌合，且沿着厚度方向延伸。

2.根据权利要求1所述的流体模块，其中构成所述主侧单元的纵流路的侧壁及构成所述工具侧单元的纵流路的侧壁为树脂制。

3.根据权利要求2所述的流体模块，其中所述主侧单元在侧面进而包括金属制且为板状的罩，

所述主侧单元的横流路的开口配设于所述罩。

4.根据权利要求3所述的流体模块，其中所述主侧单元进而包括：

金属棒，以其中心轴与所述罩的表面相向的方式埋设于构成所述主侧单元的纵流路的侧壁中；及

螺丝，将所述金属棒及所述罩连结。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流体模块，其中所述工具侧单元进而包括水平方向上可动的浮动部，

在所述浮动部配设了所述工具侧单元的纵流路的开口。

6.根据权利要求5所述的流体模块，其中所述工具侧单元的纵流路上端部的侧周面形成为朝向所述纵流路的开口扩径的倒锥形。