[发明专利]紧凑型光谱仪和包括所述光谱仪的仪器

权利要求书

1.一种光学光谱仪，其包括：

孔口；

准直仪；

中阶梯光栅；

离轴施密特望远镜；以及

检测器，

其中所述准直仪光学耦合至所述孔口和所述中阶梯光栅，

其中所述离轴施密特望远镜光学耦合至所述中阶梯光栅和所述检测器，

其中通过所述孔口进入所述光谱仪的光被引导至所述检测器，并且

其中入射在所述检测器上的光包括跨紫外光谱和可见光谱在空间上分离的多个波长。

2.根据权利要求1所述的光学光谱仪，其中所述离轴施密特望远镜还包括：

施密特校正器；

色散元件；以及

反射镜。

3.根据权利要求2所述的光学光谱仪，

其中所述反射镜包括球面镜。

4.根据权利要求2所述的光学光谱仪，还包括：

位于所述反射镜之间的视场致平透镜，

其中所述检测器和所述视场致平透镜光学耦合至所述反射镜。

5.根据权利要求2所述的光学光谱仪，

其中所述色散元件包括棱镜，并且

其中所述施密特校正器是所述棱镜的一个面上的非球面表面。

6.根据权利要求2所述的光学光谱仪，

其中所述色散元件包括棱镜，并且

其中所述施密特校正器与所述棱镜分离且独立于所述棱镜。

7.根据权利要求6所述的光学光谱仪，其中所述施密特校正器是反射镜。

8.根据权利要求1所述的光学光谱仪，

其中所述检测器被配置成检测可见光。

9.根据权利要求1所述的光学光谱仪，

其中所述检测器被配置成检测紫外光。

10.根据权利要求1所述的光学光谱仪，

其中所述检测器被配置成检测红外光。

11.根据权利要求4所述的光学光谱仪，

其中所述棱镜是双通反射棱镜。

12.根据权利要求1所述的光学光谱仪，其中所述光谱仪从感应耦合等离子体(ICP)系统接收光。

13.根据权利要求1所述的光学光谱仪，其中所述多个波长跨约167nm至约1200nm的光谱范围在空间上分离。