[发明专利]双级横向体声波滤波器

权利要求书

1.一种声波滤波器装置，包括：

声反射器，所述声反射器包括一个或者多个层；

中间层，所述中间层提供所述声反射器的最上层或在所述声反射器的最上层上，其中，所述中间层具有第一区域和第二区域，所述第一区域具有第一层厚度，所述第二区域具有不同于所述第一层厚度的第二层厚度；

第一多层堆叠，所述第一多层堆叠在所述声反射器上，包括

在所述中间层的所述第一区域上的第一反电极，

在所述第一反电极上的第一压电层，以及

在所述第一压电层上的第一输入电极和第一输出电极，所述第一输入电极和所述第一输出电极各自具有第一电极厚度，并且基本上平行地延伸并且被第一间隙分开；以及

第二多层堆叠，所述第二多层堆叠在所述声反射器上，包括

在所述中间层的所述第二区域上的第二反电极，

在所述第二反电极上的第二压电层，以及

在所述第二压电层上的第二输入电极和第二输出电极，所述第二输入电极和所述第二输出电极各自具有第二电极厚度，并且基本上平行地延伸并且被第二间隙分开，

其中，所述第一输出电极电连接至所述第二输入电极，并且

其中，所述第一多层堆叠和所述第二多层堆叠被配置成：使得所述第一输入电极与所述第一反电极之间的射频电压的施加在所述第一输入电极与所述第一输出电极之间以及在所述第二输入电极与所述第二输出电极之间的所述压电层中创建声厚度延伸谐振模式。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二层厚度比所述第一层厚度大。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一输入电极与所述第一反电极层之间的所述射频电压在所述第一输入电极与所述第一输出电极之间以及所述第二输入电极与所述第二输出电极之间的所述压电层中创建二阶声厚度剪切(TS2)谐振模式，并且

所述第二层厚度不同于所述第一层厚度，使得在所述第一多层堆叠的所述第一输入电极与所述第一输出电极之间创建的TS2谐振模式的第一谐振频率不同于在所述第二多层堆叠的所述第二输入电极与所述第二输出电极之间创建的TS2谐振模式的第二谐振频率。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一谐振频率与所述第二谐振频率相差1％至8％。

5.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一谐振频率与所述第二谐振频率相差至少50MHz。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二层厚度比所述第一层厚度大1％至10％。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二电极厚度比所述第一电极厚度大。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第二电极厚度比所述第一电极厚度小。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述第二电极厚度比所述第一电极厚度薄1％至10％。

10.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一输入电极和所述第一输出电极中的每个具有多个第一延伸部，所述第一输入电极的所述多个第一延伸部与所述第一输出电极的所述多个第一延伸部相互交错，并且所述第二输入电极和所述第二输出电极中的每个具有多个第二延伸部，所述第二输入电极的所述多个第二延伸部与所述第二输出电极的所述多个第二延伸部相互交错。

11.根据权利要求10所述的装置，其中，所述第一输入电极和所述第一输出电极中的每个是具有所述多个第一延伸部的梳状结构，并且其中，所述第二输入电极和所述第二输出电极中的每个是具有所述多个第二延伸部的梳状结构。

12.根据权利要求10所述的装置，其中，所述多个第一延伸部比所述多个第二延伸部厚。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述第二延伸部厚度比所述第一延伸部厚度小5％至20％。