[发明专利]Mn-Nb-W-Cu-O系溅射靶及其制备方法

权利要求书

1.溅射靶，所述溅射靶是在成分组成中含有Mn、Nb、W、Cu和O的Mn-Nb-W-Cu-O系溅射靶，

相对密度为90%以上，并且含有MnNb₂O_3.67的结晶相。

2.根据权利要求1所述的溅射靶，其中，相对于合计100原子%的除O以外的构成元素，Nb和W合计的比例低于60原子%。

3.根据权利要求1或2所述的溅射靶，其中，在所述成分组成中还含有Zn。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的溅射靶，其中，在所述成分组成中还含有选自Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Cr和Tb的至少1种元素。

5.根据权利要求4所述的溅射靶，其中，相对于合计100原子%的除O以外的构成元素，所述选自Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Cr和Tb的至少1种元素的合计含有率为8原子%~70原子%。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的Mn-Nb-W-Cu-O系溅射靶的制备方法，所述制备方法包括：

混合工序，其中，将含有含锰粉末、金属铌粉末、含钨粉末和含铜粉末的混合粉末湿式混合10小时以上；和

烧结工序，其中，在所述混合工序之后对所述混合粉末施加550kgf/cm²以上的压力并在700℃~900℃的温度下进行烧结。

7.根据权利要求6所示的制备方法，其中，所述含锰粉末为锰氧化物粉末，所述含钨粉末为金属钨粉末，所述含铜粉末为金属铜粉末。

8.根据权利要求6或7所述的制备方法，其中，所述混合粉末还含有锌氧化物粉末。

9.根据权利要求6~8中任一项所述的制备方法，其中，所述混合粉末还含有由选自Mg、Ag、Ru、Ni、Zr、Mo、Sn、Bi、Ge、Co、Al、In、Pd、Ga、Te、V、Si、Cr和Tb的至少1种元素的单质或化合物构成的粉末。