[发明专利]检测生产设备和表面上的纳米粒子

权利要求书

1.一种用于去除和检测表面上的粒子的装置，包括：

粒子分析器，其具有入口；

样品探针，其具有采样端口，其中，所述采样端口通过流动路径流体地连接到所述入口；

喷射系统，其能够操作地连接到所述样品探针，其中，所述喷射系统被配置为将物质、能量或物质与能量的组合引导到所述表面上，以从所述表面驱逐所述粒子；以及

真空系统，其能够操作地连接到所述采样端口，其中，所述真空系统被配置为迫使在接近于所述样品探针的收集区域中的被驱逐的所述粒子通过所述采样端口、沿着所述流动路径并且在所述入口处进入所述粒子分析器中。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述粒子分析器是非光学粒子计数器。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述粒子分析器是光学粒子计数器。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述光学粒子计数器是凝结粒子计数器。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述凝结粒子计数器的所述入口引入包含要分析的被驱逐的所述粒子的样品流，其中，所述凝结粒子计数器包括：

冷凝物贮存器；

饱和器，其与所述冷凝物贮存器流体连通，用于将冷凝物引入到所述样品流中；

冷凝器，其与所述饱和器流体连通，用于将所述冷凝物冷凝到包含在所述样品流中的被驱逐的所述粒子上；并且

其中，所述粒子计数器入口与所述冷凝器流体连通，用于检测或表征所述样品流中的冷凝的被驱逐的所述粒子。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述冷凝物是水、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、甘油、乙二醇、二甘醇、丙二醇或其组合。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的装置，其中，所述凝结粒子计数器检测有效直径小于或等于100nm的粒子。

8.根据权利要求4至7中任一项所述的装置，其中，所述装置是便携式的，总质量小于20kg。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其中，所述粒子分析器具有差分光学检测器，所述差分光学检测器包括：多个光学检测器，各个光学检测器空间映射到与所述粒子分析器中的被驱逐的所述粒子相互作用的光束的不同部分。

10.根据权利要求9所述的装置，其中，所述光束的至少一部分通过包含被驱逐的所述粒子的流动池并被引导到所述多个光学检测器上。

11.根据权利要求9至10中任一项所述的装置，其中，所述光学检测器各自被空间映射到所述光束的不重叠的部分。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的装置，其中，所述光学检测器被配置用于差分检测。

13.根据权利要求9至12中任一项所述的装置，其中，所述光学检测器被配置用于分裂束检测差分检测。

14.根据权利要求9至13中任一项所述的装置，其中，所述光束是高斯束。

15.根据权利要求9至13中任一项所述的装置，其中，所述光束是非高斯束。

16.根据权利要求9至13中任一项所述的装置，其中，所述光束是结构化束。

17.根据权利要求9至13中任一项所述的装置，其中，所述光束是干涉束。

18.根据权利要求1至17中任一项所述的装置，其中，所述喷射系统将激励物质引导至所述表面。