[发明专利]表面测量方法、零件的制造方法、零件的检查方法以及零件的测量装置

权利要求书

1.一种表面测量方法，向被测量面照射相干光束，将由所述被测量面反射的反射光投射至屏幕而形成光学像，并由光学传感器对所述光学像进行拍摄，该表面测量方法的特征在于，

在使所述屏幕向一个方向连续移动的状态下实施由所述光学传感器进行的拍摄。

2.如权利要求1所述的表面测量方法，其中，

使所述屏幕与所述光学像的宽度方向位置无关地以恒定的速度连续移动。

3.如权利要求2所述的表面测量方法，其中，

所述屏幕形成为圆筒状，并且连续地旋转。

4.如权利要求3所述的表面测量方法，其中，

所述光束呈狭缝状地向所述被测量面照射，

通过使所述被测量面与所述光束相对移动，对所述被测量面进行扫描。

5.如权利要求4所述的表面测量方法，其中，

所述光学传感器为线传感器，以线状拍摄所述光学像。

6.如权利要求3所述的表面测量方法，其中，

所述屏幕的圆筒状的外周表面由漫反射体构成。

7.如权利要求2所述的表面测量方法，其中，

所述屏幕为带状且形成为环状的轮，卷绕于至少两个旋转辊体，

通过旋转驱动所述旋转辊体，使所述屏幕向一个方向连续移动。

8.如权利要求2所述的表面测量方法，其中，

所述被测量面为凸状，

所述光束成为规定的宽度和规定的厚度的狭缝状，

沿着凸状的所述被测量面照射所述光束，将由凸状的所述被测量面反射的反射光投射至所述屏幕而形成所述光学像。

9.如权利要求8所述的表面测量方法，其中，

使所述光束的一部分在凸状的所述被测量面上通过而直接投射至所述屏幕作为基准光，

基于由所述基准光指定的所述光学像的测量点的反射光强度分布，对所述被测量面的表面状态进行检查。

10.一种零件的制造方法，该零件具有被测量面，该零件的制造方法的特征在于，包括：

加工工序，其对所述被测量面进行镜面处理；

检查工序，其向所述被测量面照射相干光束，由光学传感器对向屏幕投射由所述被测量面反射的反射光而形成的光学像进行拍摄；

评估工序，其基于所述检查工序中的拍摄结果，判断零件合适与否；

输送工序，其根据所述评估工序中的评估结果，将零件向不同的场所输送；

在使所述屏幕向一个方向连续移动的状态下实施所述检查工序。

11.如权利要求10所述的零件的制造方法，其中，

使所述屏幕与所述光学像的宽度方向位置无关地以恒定的速度连续移动。

12.如权利要求11所述的零件的制造方法，其中，

所述屏幕形成为圆筒状，并且连续地旋转。

13.如权利要求12所述的零件的制造方法，其中，

所述被测量面为凸状，

所述光束成为规定的宽度和规定的厚度的狭缝状，

沿着凸状的所述被测量面照射所述光束，并将由凸状的所述被测量面反射的反射光投射至所述屏幕而形成所述光学像。

14.如权利要求13所述的零件的制造方法，其中，

使所述光束的一部分在凸状的所述被测量面上通过而直接投射至所述屏幕作为基准光，

基于由所述基准光指定的所述光学像的测量点的反射光强度分布，对所述被测量面的表面状态进行检查。