[发明专利]蒸镀掩模中间体、蒸镀掩膜及蒸镀掩模的制造方法有效

专利信息
申请号: 201980057322.0 申请日: 2019-09-06
公开(公告)号: CN112639157B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 西刚广;山本龙彦;小林昭彦 申请(专利权)人: 凸版印刷株式会社
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 戚宏梅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 蒸镀掩模 中间体 蒸镀掩膜 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种蒸镀掩模中间体,包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材,其中,

所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状,

各第2边缘部比所述第1边缘部短,且具备缺口,所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分,所述U字状部分的底部为曲线状,

所述蒸镀掩模中间体具备:

带状部,具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状;

框状部,具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘,且包围所述带状部;以及

多个跨接部,将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接,

所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模,

在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部,

各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接,

所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部,

所述带状部的各第2边缘部具有通过各跨接部而与所述框状部连接的多个连接部位,

所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状的缺口,

所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘,

所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部,

各直线部包括通过所述跨接部而与所述突状边缘连接的、被包含于所述多个连接部位的第1连接部位,

所述第2边缘部延伸的方向为宽度方向,

所述多个连接部位包含第2连接部位,

所述带状部的各缺口在所述宽度方向上被所述第2连接部位夹着。

2.一种蒸镀掩模中间体,包含用于制造蒸镀掩模的金属制片材,其中,

所述蒸镀掩模具有由一对第1边缘部和一对第2边缘部包围的带状,

各第2边缘部比所述第1边缘部短,且具备缺口,所述缺口具有向所述第1边缘部延伸的方向即长度方向凹陷的U字状部分,所述U字状部分的底部为曲线状,

所述蒸镀掩模中间体具备:

带状部,具有追随所述蒸镀掩模的边缘的形状;

框状部,具备具有追随所述带状部的边缘的形状的内侧边缘,且包围所述带状部;以及

多个跨接部,将所述带状部的所述边缘与所述框状部的所述内侧边缘连接,

所述带状部通过各跨接部的切断而形成所述蒸镀掩模,

在所述带状部的所述边缘设置有具有追随所述缺口的所述底部的形状的弯曲部,

各跨接部与所述带状部的所述边缘中的除所述弯曲部以外的部位连接,

所述带状部的所述边缘包括所述一对第1边缘部及所述一对第2边缘部,

所述带状部的各第1边缘部通过所述多个跨接部而与所述框状部连接,

所述带状部的各第2边缘部具备具有追随所述蒸镀掩模的所述缺口的形状、且包含所述弯曲部的缺口,

所述带状部的各第1边缘部在第1连接部位与所述框状部连接,

所述带状部的各第2边缘部在第2连接部位通过所述多个跨接部而与所述框状部连接,

与所述弯曲部相比,所述第1连接部位在所述长度方向上位于更靠近所述第2连接部位的位置,

所述带状部的各缺口被所述第2连接部位夹着。

3.如权利要求2所述的蒸镀掩模中间体,其中,

所述框状部的内侧边缘具备具有追随所述带状部的所述缺口的形状的突状边缘,

所述带状部的各缺口包括所述弯曲部及从所述弯曲部沿所述长度方向延伸的一对直线部,

各直线部通过所述跨接部而与所述突状边缘连接。

4.如权利要求1至3中任一项所述的蒸镀掩模中间体,其中,

所述带状部包括具有多个贯通孔的掩模部,

所述带状部的各第1边缘部在所述长度方向上,在不与所述掩模部重叠的部位,通过所述跨接部而与所述框状部连接。

5.如权利要求1至3中任一项所述的蒸镀掩模中间体,其中,

所述框状部具备脆弱部,该脆弱部具有沿着从所述框状部的所述内侧边缘朝向所述框状部的外侧边缘的方向延伸的线状,

所述脆弱部的机械强度比所述框状部中的除所述脆弱部以外的部分的机械强度低。

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