[发明专利]蒸气作为光学系统中的保护剂及生命延长剂

权利要求书

1.一种光学系统，其包括：

光学组件，其中所述光学组件是CaF₂、MgF₂、LiF₂、BaF₂、SrF₂或BeF₂中的一者；

外壳，其环绕所述光学组件；及

蒸气源，其与所述外壳流体连通，其中所述蒸气源以从500ppm到15000ppm的蒸气水平将蒸气提供到所述外壳，其中所述蒸气是水、甲醇、乙二醇或乙醇中的一者。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气是水。

3.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气水平是从500ppm到小于5000ppm。

4.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气水平是从大于5000ppm到15000ppm。

5.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气源包含起泡器。

6.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气源包含可透膜，且其中所述可透膜包含纳菲薄膜或聚酰胺。

7.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气源包含半透膜。

8.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气源包含电荷镶嵌膜或双极膜。

9.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述蒸气源包含气体源，其中所述气体源提供氮气、氦气、一氧化碳、二氧化碳、氪气、氩气、氙气、氢气、氧气、压缩的干燥空气或其混合物，其中来自所述气体源的气体被与所述蒸气混合。

10.根据权利要求1所述的光学系统，其进一步包括安置成与所述外壳流体连通的蒸气传感器，其中所述蒸气传感器是一氧化碳检测器、二氧化碳检测器、湿度计或氢气传感器中的一者。

11.根据权利要求10所述的光学系统，其进一步包括与所述蒸气传感器进行电子通信的处理器，其中所述处理器经配置以基于来自所述蒸气传感器的读数而调整来自所述外壳的冲洗气体中的所述蒸气水平。

12.一种用于改进光学系统的生命的方法，其包括：

使蒸气从蒸气源流动到环绕光学组件的外壳，其中所述光学组件是CaF₂、MgF₂、LiF₂、BaF₂、SrF₂或BeF₂中的一者；及

使冲洗气体中的蒸气水平维持为从500ppm到15000ppm，其中所述蒸气是水、甲醇、乙二醇或乙醇中的一者。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述蒸气水平是从500ppm到小于2000ppm。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述蒸气水平是从大于5000ppm到15000ppm。

15.根据权利要求12所述的方法，其进一步包括使用安置于所述外壳中的蒸气传感器来测量所述外壳中的所述蒸气水平。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述维持是基于来自所述蒸气传感器的读数而进行。

17.根据权利要求1所述的系统，其中所述蒸气水平是从大于800ppm到2200ppm。

18.根据权利要求12所述的方法，其中所述蒸气水平是从大于800ppm到2200ppm。