[发明专利]胶黏剂组合物、膜状胶黏剂、胶黏剂片及半导体装置的制造方法有效
| 申请号: | 201980051092.7 | 申请日: | 2019-07-11 |
| 公开(公告)号: | CN112513217B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
| 发明(设计)人: | 平本祐也;夏川昌典;谷口纮平 | 申请(专利权)人: | 株式会社力森诺科 |
| 主分类号: | C09J163/00 | 分类号: | C09J163/00;C09J7/30;C09J11/04;C09J11/08;C09J161/06;H01L21/52;H01L21/56 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 白丽 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 胶黏剂 组合 膜状胶黏剂 胶黏剂片 半导体 装置 制造 方法 | ||
1.一种胶黏剂组合物,其包含:
环氧树脂;
酚醛树脂;
弹性体;以及
填料,
以所述环氧树脂、所述酚醛树脂、所述弹性体及所述填料的总量为基准,所述填料的含量为40质量%~68质量%,
所述环氧树脂包含具有萘骨架的环氧树脂,
所述具有萘骨架的环氧树脂包含由下述式(X)表示的环氧树脂,
以所述环氧树脂、所述酚醛树脂、所述弹性体及所述填料的总量为基准,所述环氧树脂的含量为15质量%~25质量%,
以所述环氧树脂的总量为基准,所述具有萘骨架的环氧树脂的含量为20质量%~60质量%,
以所述环氧树脂、所述酚醛树脂、所述弹性体及所述填料的总量为基准,所述酚醛树脂的含量为10质量%~18质量%,
所述弹性体为丙烯酸树脂,
以所述环氧树脂、所述酚醛树脂、所述弹性体及所述填料的总量为基准,所述弹性体的含量为10质量%~20质量%,
[化学式1]
2.根据权利要求1所述的胶黏剂组合物,其中,
以所述环氧树脂及所述酚醛树脂的总量为基准,所述具有萘骨架的环氧树脂的含量为14质量%~30质量%。
3.一种膜状胶黏剂,其是将权利要求1或2所述的胶黏剂组合物形成为膜状而成。
4.一种胶黏剂片,其具备:
基材;以及
设置于所述基材上的权利要求3所述的膜状胶黏剂。
5.根据权利要求4所述的胶黏剂片,其中,
所述基材为切晶带。
6.一种半导体装置的制造方法,其具备:
打线接合工序,在基板上经由第一导线电性连接第一半导体元件;
层压工序,在第二半导体元件的单面贴附权利要求3所述的膜状胶黏剂;以及
粘晶工序,经由所述膜状胶黏剂压接所述贴附有膜状胶黏剂的第二半导体元件,由此将所述第一导线的至少一部分埋入所述膜状胶黏剂中。
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