[发明专利]弹性波装置以及梯型滤波器在审
申请号: | 201980050917.3 | 申请日: | 2019-08-27 |
公开(公告)号: | CN112534718A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 大门克也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 韩聪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 以及 滤波器 | ||
本发明提供一种相对带宽宽且抑制IDT电极的浪涌击穿的弹性波装置。弹性波装置(1),在压电体(2)上设置有IDT电极(3),IDT电极(3)具有第1汇流条(4a)、第2汇流条(5a)、和多根第1电极指(4b)以及第2电极指(5b),设置有第1电介质膜(6),使得从第1电极指(4b)的前端部与压电体(2)之间经过第1缝隙(9a)到达第2汇流条(5a)与压电体(2)之间,第2电极指(5b)在交叉宽度的中央与压电体(2)直接接触,第1电介质膜(6)的介电常数比压电体(2)的介电常数低。
技术领域
本发明涉及在IDT电极的一部分与压电体之间设置有电介质的弹性波装置以及梯型滤波器。
背景技术
例如,下述的专利文献1公开了在压电体上设置了IDT电极的弹性波装置。该IDT电极具有第1汇流条、第2汇流条和分别与第1汇流条、第2汇流条连接的多根第1电极指以及多根第2电极指。多根第1电极指和多根第2电极指彼此相互交替插入。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2010-263662号公报
发明内容
发明要解决的课题
压电体的介电常数比较大。因此,若在压电体上直接设置IDT电极,则IDT电极的第1电极指、第2电极指的前端与第2汇流条、第1汇流条之间的电容往往会变大。
上述电容相对于在第1电极指与第2电极指之间产生的电容并联地连接。因此,若在第1电极指、第2电极指的前端与第2汇流条或第1汇流条之间产生的上述电容变大,则IDT电极整体的电容变大。因此,在使用在压电体上直接设置有IDT电极的弹性波装置构成了弹性波谐振器的情况下,存在反谐振频率靠近谐振频率侧,相对带宽变窄的情况。
此外,若在压电体上直接设置有IDT电极,则起因于压电体的电场特别集中在IDT电极的第1电极指、第2电极指的前端与第2汇流条、第1汇流条之间,导致有可能会产生浪涌击穿。
本发明的目的在于,提供一种具有宽的相对带宽且抑制IDT电极的浪涌击穿的弹性波装置。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波装置是如下的弹性波装置,即,具备:压电体;以及IDT电极,设置在所述压电体上,所述IDT电极具有:第1汇流条;第2汇流条,与所述第1汇流条隔开设置;以及多根第1电极指以及多根第2电极指,分别具有基端和前端,所述多根第1电极指和所述多根第2电极指相互交替插入,所述第1电极指的所述基端与所述第1汇流条连接,所述第1电极指的所述前端与所述第2汇流条隔开第1缝隙配置,所述多根第2电极指的所述基端与所述第2汇流条连接,所述第2电极指的所述前端与所述第1汇流条隔开第2缝隙配置,还具备:第1电介质膜,设置为从所述第2电极指的前端部与所述压电体之间经过所述第2缝隙到达所述第1汇流条与所述压电体之间,所述第2电极指在交叉宽度的中央与所述压电体直接接触,所述第1电介质膜的介电常数比所述压电体的介电常数低。
发明效果
根据本发明涉及的弹性波装置,能够拓宽相对带宽,且能够抑制IDT电极的浪涌击穿。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的侧视剖视图。
图2是本发明的第1实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。
图3是示出关于第1实施方式的实施例1的弹性波装置以及比较例1的弹性波装置的谐振特性的图。
图4是示出实施例1以及实施例2的弹性波装置的谐振特性的图。
图5是示出第1实施方式的弹性波装置的变形例中的IDT电极的俯视图。
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