[发明专利]光学元件装置及其制造方法

说明书

光学元件装置(1)具备光电混载基板(11)和光学元件(12)，该光电混载基板(11)在厚度方向上依次具备：光波导路(14)，其具有镜面(8)；和电路基板(13)，其具有端子(7)，该光学元件(12)与镜面(8)光学地连接，并与端子(7)电连接。光电混载基板(11)具备安装区域(3)，该安装区域(3)在沿着厚度方向进行投影时包含镜面(8)和端子(7)，且光学元件(12)安装于该安装区域(3)。而且，光电混载基板(11)具备用于使光学元件(12)相对于镜面(8)对准的对准标记(30)。对准标记(30)由形成光波导路(14)的材料形成，并配置于安装区域(3)的宽度方向两外侧。

技术领域

本发明涉及一种光学元件装置及其制造方法，详细而言，涉及一种光学元件装置和光学元件装置的制造方法。

背景技术

以往，公知有一种光波导路装置，该光波导路装置具备纵长的光电混载基板和受光元件，所述光电混载基板具备：光波导路，其具有光路转换镜面；和配线基板，其配置于该光路转换镜面之上，所述受光元件安装于光电混载基板。

例如，提出了具备配置于受光元件的宽度方向单侧的对准用槽部的光波导路装置(例如，参照专利文献1。)。

在专利文献1中，对准用槽部具有与光路转换镜面的形状相同的形状，将该对准用槽部用于以光刻制作其他芯层之际的光掩模的对位。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-72497号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在将受光元件向光电混载基板安装时，试行如下方案：基于对准标记来使受光元件的受光部相对于光路转换镜面对准(对位)。具体而言，在专利文献1的光波导路装置中，试行如下方案：基于对准用槽部来实施上述的对准。

不过，光电混载基板因其制造工序的加热而易于在宽度方向上收缩，在该情况下，对准用槽部与光路转换镜面之间的距离大幅度变动，因此，基于该对准用槽部的对准的精度降低。

本发明提供一种抑制了光学元件相对于镜面的位置精度降低的光学元件装置及其制造方法。

用于解决问题的方案

本发明(1)包括光学元件装置，该光学元件装置具备：光电混载基板，其在厚度方向上依次具备：光波导路，其具有镜面；和电路基板，其具有端子；以及光学元件，其与所述镜面光学地连接，并与所述端子电连接，所述光电混载基板具备安装区域，该安装区域在沿着所述厚度方向进行投影时包含所述镜面和所述端子，且所述光学元件安装于该安装区域，而且，所述光电混载基板具备对准标记，该对准标记用于使所述光学元件相对于所述镜面对准，所述对准标记由形成所述光波导路的材料形成，并配置于所述安装区域的、与所述光波导路的光的传输方向和所述厚度方向正交的宽度方向两外侧。

在该光学元件装置中，对准标记配置于在沿着厚度方向进行投影时包含镜面在内的安装区域的宽度方向两外侧，因此，即使宽度方向一侧的对准标记与镜面之间的宽度方向上的长度变动，也能够求出变动前后的宽度方向两外侧的对准标记之间的距离，并基于该距离计算收缩量(或者收缩比)，实施将该收缩量考虑在内的、基于对准标记的对准。因此，抑制光学元件相对于镜面的对准精度的降低。其结果，该光学元件装置的光学的连接可靠性优异。

本发明(2)包括(1)所述的光学元件装置，其中，所述对准标记在沿着所述宽度方向进行投影时与所述镜面重叠，或者接近所述镜面。

在该光学元件装置中，进一步抑制光学元件相对于镜面的对准精度的降低。