[发明专利]处理物体的方法和实施该方法的设备

说明书

本发明提供了一种处理物体(2)的方法，其中通过输送设备(5)将待处理的物体(2)输送通过池(3)，通过至少一个设有朝上的出口(13)的进料装置(9)将处理溶液(4)引入到池(3)中，且具有处理溶液流(24)的形式的处理溶液(4)通过朝上的出口(13)被向上喷出，物体(2)在朝上的出口(13)的上方被输送通过池(3)，且在物体(2)通过池(3)的输送期间，物体(2)的朝下的表面(23)被置于与处理溶液射流(24)接触的状态。本发明还涉及用于实施这样的方法的处理设备(1)。

本发明涉及一种用于处理物体的方法以及一种用于实施这种方法的处理设备。

在不同的技术领域中使用了通过处理溶液对物体表面进行的处理。因此，例如，湿化学蚀刻法尤其被用于太阳能电池工业中的晶片表面的处理。

物体表面的处理可以例如以浸入处理的形式实现，将一定数量的物体浸入装有处理溶液的池中，并在其中保持预定的持续时间。这就是所谓的批处理方法。

另一种可能性是通过所谓的在线方法对物体进行处理。在此，物体在运输设备上被运输通过池，通过处理溶液对物体的处理发生在物体通过池的运输期间。与其中通常对物体进行双面处理的批处理方法不同，在在线方法中可以通过各种方式实现对物体的单面处理。

在批处理方法和在线方法中，处理结果的质量尤其取决于待处理物体区域中处理溶液的温度和/或化学成分。例如，如果在物体处发生热量积聚和/或反应产物过饱和，会对处理结果的质量产生负面影响。在蚀刻方法的情况下，例如，在这种类型的情况下会发生蚀刻速率的降低。

本发明的一个目的，是在处理物体的情况下，尤其是在物体的单面处理的情况下，提高处理结果的质量。

根据本发明，所述目的通过权利要求1所述的方法和权利要求6所述的处理设备来实现的。

在根据本发明的用于处理物体的方法中：

-通过运输设备将待处理物体运输通过一个池；

-通过至少一个设置有朝上的出口的进料装置，将处理溶液引入到池中，并且在此借助于带有处理溶液喷嘴的构造的朝上的出口，将处理溶液向上喷出；

-物体在朝上的出口的上方被输送通过池；以及

-在物体通过池的运输过程中，物体的朝向下方的表面与处理溶液射流接触。

根据本发明的处理设备包括：

-其中可以放置处理液的池；

-运输设备，借助于该运输设备可以将待处理的物体沿一个运输方向被输送通过池；

-至少一个进料装置，该进料装置被布置在池中，通过该进料装置可以将处理溶液引入池中；

-所述至少一个进料装置具有朝上的出口，用于向上喷出处理溶液。

通过借助具有处理溶液喷嘴构造的至少一个送料装置将处理溶液向上喷，可以实现在物体处可获得用于处理物体的新鲜或未使用过的处理溶液，而象在单面处理方法中通常的那样将待处理的物体在至少一个送料装置的上方被输送。以这种方式，可以避免在待处理的物体的区域中热量的积聚和/或反应产物的过饱和，特别是因为经由至少一个进料装置引入到池中的处理溶液可以带走热量和/或排走反应产物。

相比之下，通过想着池的底部喷出处理溶液的朝下的出口，不能充分有效地避免在待处理物体的区域中热量的积聚和/或反应产物的过饱和。

物体通过池运输的说法，既不意味着物体的表面必须完全位于放置在池中的处理液的液面以下，也不意味着物体的表面必须完全位于池的一个边缘以下。因此，物体上表面的一部分或整个物体表面可以位于或被输送于池的池边缘上方或处理溶液的液位上方。