[发明专利]用于产生可变多焦点轮廓的光学装置有效
| 申请号: | 201980048148.3 | 申请日: | 2019-07-18 |
| 公开(公告)号: | CN112534309B | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
| 发明(设计)人: | C·蒂尔科恩;D·弗拉姆;J·黑尔斯特恩;A·海梅斯;张力文;M·普罗索托维奇 | 申请(专利权)人: | 通快激光有限责任公司 |
| 主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
| 代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 郭毅 |
| 地址: | 德国施*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 产生 可变 焦点 轮廓 光学 装置 | ||
1.一种用于由至少基本上准直的激光射束(3)产生多焦点轮廓(20)的光学装置(1),其中,所述光学装置(1)提供射束路径(4),依次穿过:
-多个微透镜阵列(MLA1至MLA4),其中,所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)的微透镜(5,5a,5b)具有统一的孔径a,其中,所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)的整体(8)具有有效焦距fML;
-傅里叶透镜装置(6);
其特征在于,
所述光学装置(1)具有调节机构(15),借助所述调节机构能够调节所述射束路径(4)中所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)中的至少若干微透镜阵列的彼此之间的光学间距(d,d1,d2,t),从而能够设定所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)的整体(8)的有效焦距fML,
所述调节机构(15)具有多个调节位置i=1,...,M,其中,M是自然数≥2,i是调节位置索引,在所述调节位置处,项分别基本上平滑地得出自然数Ni,其中,在所述调节位置i处分别适用:
其中,λ是所述激光射束(3)的平均波长,fML,i是所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)的整体(8)的通过所述调节位置i所设定的有效焦距fML。
2.根据权利要求1所述的光学装置(1),其特征在于,在所述调节位置i处分别适用:
3.根据权利要求1或2所述的光学装置(1),其特征在于,所述射束路径(4)穿过至少三个微透镜阵列(MLA1至MLA4)。
4.根据权利要求1或2所述的光学装置(1),其特征在于,所述光学装置(1)包括至少一个偏转光学器件,并且所述射束路径(4)多次穿过至少一个微透镜阵列构件(MB1至MB2)。
5.根据权利要求1或2所述的光学装置(1),其特征在于,所述调节机构(15)包括滑块(11至14;50),至少两个微透镜阵列构件(MB1至MB4)以固定的间距(d+t)布置在所述滑块上,并且所述滑块(11至14;50)相对于至少一个另外的微透镜阵列构件(MB1至MB4)能够沿着射束传播方向(z)移动。
6.根据权利要求5所述的光学装置(1),其特征在于,在所述射束路径(4)中第一微透镜阵列和第三微透镜阵列(MLA1,MLA3)位置固定,并且在所述射束路径(4)中第二微透镜阵列和第四微透镜阵列(MLA2,MLA4)布置在可移动的滑块(11至14;50)上,或者反之,并且,对于所述第一微透镜阵列和所述第四微透镜阵列(MLA1,MLA4)的焦距f1和所述第二微透镜阵列和所述第三微透镜阵列(MLA2,MLA3)的焦距f2适用:f2=f1/3。
7.根据权利要求1或2所述的光学装置(1),其特征在于,
所述光学装置(1)还具有波长色散元件(100),所述波长色散元件在所述射束路径(4)中布置在所述微透镜阵列(MLA1至MLA4)的整体(8)的前面,并且适合于在横向于所述射束传播方向(z)的方向(x)上在光谱上扩展所述至少基本上准直的激光射束(3),
并且所述傅里叶透镜装置(6)构造成具有在横向于所述射束传播方向(z)的方向(x)上可变的焦距(fFL)。
8.根据权利要求7所述的光学装置(1),其特征在于,所述傅立叶透镜装置(6)构造为自由形状透镜(102),所述自由形状透镜具有在横向于所述射束传播方向(z)的方向(x)上可变的透镜曲率。
9.根据权利要求1或2所述的光学装置(1),其特征在于,所述调节机构(15)是机动化的并且具有电子控制设备(10),其中,在所述电子控制设备(10)中,不同调节位置i是经编程的并且能够借助所述电子控制设备(10)自动化地启动。
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