[发明专利]激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法

权利要求书

1.一种激光加工装置，其特征在于，具备：

激光光学系统，其生成线光束并输出该线光束；

荫罩，其配置在上述激光光学系统的光行进方向下游侧，与在被加工物上激光加工的多个加工痕对应地设置有多个开口窗；

投影透镜，其将上述荫罩的像投影到上述被加工物上；

移动机构，其插入于上述激光光学系统的输出侧的光路中，使从上述激光光学系统输出并向上述荫罩上照射的上述线光束相对于上述荫罩和上述投影透镜相对地在与上述线光束的长轴交叉的方向上移动；以及

工作台，其载置并保持上述被加工物，

上述移动机构构成为具备：

可动型平面反射镜，其使入射的上述线光束朝向上述荫罩反射，上述可动型平面反射镜通过沿着入射到该可动型平面反射镜的上述线光束的光轴移动而使上述线光束在与上述长轴交叉的方向上移动；以及

可动型反射镜，其通过与上述可动型平面反射镜的移动同步地移动，维持上述光路中的相对于上述可动型平面反射镜在光行进方向上游侧的光路长度。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，

上述线光束的相对移动速度是恒定的。

3.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

上述工作台构成为能在与上述投影透镜的光轴正交的二维平面内移动。

4.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

上述被加工物是将树脂膜和设置有多个贯通孔的金属片层叠而成的掩模用构件，

上述加工痕是在上述树脂膜的位于上述贯通孔内的部分形成的开口图案。

5.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

上述被加工物是将树脂膜和设置有多个贯通孔的金属片层叠而成的掩模用构件，

上述加工痕是在上述树脂膜的位于上述贯通孔内的部分形成的开口图案。

6.根据权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于，

上述被加工物是印刷电路基板，

上述加工痕是在上述印刷电路基板形成的导孔。

7.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，

上述被加工物是印刷电路基板，

上述加工痕是在上述印刷电路基板形成的导孔。

8.一种激光加工方法，是对与在被加工物上激光加工的多个加工痕对应地设置有多个开口窗的荫罩上照射从激光光学系统输出的线光束，由穿过上述开口窗的激光束在上述被加工物上激光加工出上述加工痕的激光加工方法，

上述激光加工方法的特征在于，

使用插入于上述激光光学系统的输出侧的光路中的移动机构，使向上述荫罩上照射的上述线光束在激光加工过程中相对于上述荫罩、以及将该荫罩的像投影到上述被加工物上的投影透镜相对地在与上述线光束的长轴交叉的方向上移动，

上述移动机构具有：可动型平面反射镜，其使入射的上述线光束朝向上述荫罩反射，上述可动型平面反射镜通过沿着入射到该可动型平面反射镜的上述线光束的光轴移动而使上述线光束在与上述长轴交叉的方向上移动；以及可动型反射镜，其通过与上述可动型平面反射镜的移动同步地移动，维持上述光路中的相对于上述可动型平面反射镜在光行进方向上游侧的光路长度，

使用上述移动机构，在维持上述光路中的相对于上述可动型平面反射镜在光行进方向上游侧的光路长度的同时使上述线光束移动。

9.根据权利要求8所述的激光加工方法，其特征在于，

上述线光束的相对移动速度是恒定的。

10.根据权利要求8或9所述的激光加工方法，其特征在于，

当完成上述线光束在上述荫罩上的移动时，使上述被加工物移动而在该被加工物上的别的区域内一边使上述线光束相对于上述荫罩和上述投影透镜进行相对移动一边激光加工出上述加工痕。