[发明专利]制造具有机械预载隔膜致动器的微型泵的方法和保持装置

权利要求书

1.一种用于制造微型泵（21）的方法，包括：

提供包括用于微型泵（21）的至少一个泵隔膜（27）的衬底（22），

提供用于移动所述泵隔膜（27）的隔膜致动器（28）并将所述隔膜致动器（28）布置在保持装置（38）中，

将所述保持装置（38）相对于所述衬底（22）对准，使得所述隔膜致动器（28）被布置为与所述泵隔膜（27）相对，

通过高于环境压力的流体压力（36）使所述泵隔膜（27）在所述隔膜致动器（28）的方向上偏转，以及

将所述隔膜致动器（28）安装在所述泵隔膜（27）上。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述隔膜致动器（28）被布置在所述保持装置（38）中，使得所述隔膜致动器（28）形成在与偏转的泵隔膜（27）相同的方向上弯曲的圆顶形的变形，由此变形的隔膜致动器（28）被机械偏置。

3.根据权利要求1所述的方法，其中将所述隔膜致动器（28）布置在所述保持装置（38）中的步骤包括：

将所述隔膜致动器（28）插入在所述保持装置（38）中并在所述隔膜致动器（28）上施加机械力，使得插入在所述保持装置（38）中的隔膜致动器（28）在远离所述泵隔膜（27）的方向上变形，从而被机械偏置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述隔膜致动器（28）布置在所述保持装置（38）中的步骤包括：

在所述保持装置（38）和所述隔膜致动器（28）之间产生负压（40），由此所述隔膜致动器（28）通过所述负压（40）被吸入到所述保持装置（38）中，并在远离所述泵隔膜（27）的方向上变形，从而被机械偏置。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述隔膜致动器（28）布置在所述保持装置（38）中的步骤包括：

向所述隔膜致动器（28）施加电压，使得所述隔膜致动器（28）在远离泵隔膜（27）的方向上变形，从而被机械偏置。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述泵隔膜（27）通过所述流体压力（36）在所述隔膜致动器（28）的方向上偏转足够远，使得所述泵隔膜（27）贴到插入在所述保持装置中并且变形且机械偏置的隔膜致动器（28）。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述泵隔膜（27）通过所述流体压力（36）在所述隔膜致动器（28）的方向上偏转，使得所述泵隔膜（27）接触插入在所述保持装置（38）中的隔膜致动器（28），并且所述泵隔膜（27）和所述隔膜致动器（28）一起被偏转，其中，所述隔膜致动器（28）变形且机械偏置。

8. 根据权利要求1所述的方法，其中，提供所述衬底（22）的步骤包括：

将所述衬底（22）布置在衬底保持器（31）上，以及

在所述衬底（22）和所述衬底保持器（31）之间提供流体密封连接，并在所述衬底保持器（31）和所述泵隔膜（27）之间提供流体连接，

在所述流体连接内产生流体压力（36），使得加压流体通过所述流体连接流到所述泵隔膜（27），并且所述泵隔膜（27）通过所述流体压力在所述隔膜致动器（28）的方向上偏转。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述流体压力（36）包括相对于环境压力0.5巴至5巴的超压。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述隔膜致动器（28）安装在所述泵隔膜（27）上的步骤包括：

在所述泵隔膜（27）的面向隔膜致动器（28）的一侧和/或所述隔膜致动器（28）的面向所述泵隔膜（27）的一侧布置接合装置（37）。