[发明专利]三氯化硼的制造方法在审
| 申请号: | 201980043109.4 | 申请日: | 2019-06-04 |
| 公开(公告)号: | CN112313174A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 窦君;毛利早纪;栗原秀行 | 申请(专利权)人: | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号: | C01B35/06 | 分类号: | C01B35/06 |
| 代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 刘航;段承恩 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 氯化 制造 方法 | ||
1.一种三氯化硼的制造方法,具有下述工序:
在粉粒体状的碳化硼在含有氯气的气体中流动的状态下,进行所述含有氯气的气体中的氯气与所述碳化硼的反应。
2.根据权利要求1所述的三氯化硼的制造方法,
一边向反应容器内连续地供给所述含有氯气的气体和所述碳化硼、并且从所述反应容器连续地排出其反应生成物,一边连续地进行所述含有氯气的气体中的氯气与所述碳化硼的反应。
3.根据权利要求1或2所述的三氯化硼的制造方法,
所述碳化硼的体积基准的平均粒径D50小于500μm。
4.根据权利要求1~3的任一项所述的三氯化硼的制造方法,
在600℃以上的温度下进行所述含有氯气的气体中的氯气与所述碳化硼的反应。
5.根据权利要求1~4的任一项所述的三氯化硼的制造方法,
在-0.050MPaG以上且0.500MPaG以下的压力下进行所述含有氯气的气体中的氯气与所述碳化硼的反应。
6.根据权利要求1~5的任一项所述的三氯化硼的制造方法,
所述含有氯气的气体由50体积%以上且100体积%以下的氯气和余量的惰性气体构成。
7.根据权利要求1~6的任一项所述的三氯化硼的制造方法,
所述含有氯气的气体的水蒸气含量小于1体积%。
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