[发明专利]流量传感器在审

申请号：	201980042201.9	申请日：	2019-06-20
公开（公告）号：	CN112313481A	公开（公告）日：	2021-02-02
发明（设计）人：	中土裕树;小野瀬保夫;余语孝之;岛田辽太郎	申请（专利权）人：	日立汽车系统株式会社
主分类号：	G01F1/684	分类号：	G01F1/684;G01F1/692
代理公司：	北京尚诚知识产权代理有限公司 11322	代理人：	龙淳;何中文
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	流量传感器
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【说明书】：

流量传感器包括：引线框；半导体芯片，其配置在所述引线框的一个面上，在所述半导体芯片形成了在所述引线框一侧具有空腔部的膜片；流量检测部，其形成在所述半导体芯片的包含所述膜片上的所述一个面上；和树脂，其具有使形成在所述膜片上的所述流量检测部的至少一部分露出的流路用开口部，覆盖所述引线框和所述半导体芯片，所述树脂的、覆盖在所述引线框的与所述一个面一侧为相反侧的另一个面一侧的下部侧树脂部，在与所述膜片的周缘部相对的区域具有比周围薄的薄壁部。

技术领域

本发明涉及流量传感器。

背景技术

已知使用微加工(Micromachining)技术在半导体芯片形成膜片，在该膜片上设置了流量检测部的流量传感器。这样的流量传感器例如用于流入汽车等内燃机的空气的流量的测量等。

上述流量传感器以将在膜片上设置有流量检测部的半导体芯片搭载于引线框上的状态，以使得流量检测部露出的方式，通过进行树脂模塑(resin molding)而形成(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2015-033589号

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1中，没有关于树脂模塑时的膜片的变形引起的检测精度的下降的记载。

用于解决问题的方式

本发明的一个方式的流量传感器包括：引线框；半导体芯片，其配置在所述引线框的一个面上，在所述半导体芯片形成了在所述引线框一侧具有空腔部的膜片；流量检测部，其形成在所述半导体芯片的包含所述膜片上的所述一个面上；和树脂，其具有使形成在所述膜片上的所述流量检测部的至少一部分露出的流路用开口部，覆盖所述引线框和所述半导体芯片，所述树脂的、覆盖在所述引线框的与所述一个面一侧为相反侧的另一个面一侧的下部侧树脂部，在与所述膜片的周缘部相对的区域具有比周围薄的薄壁部。

发明的效果

根据本发明，能够抑制树脂模塑时的膜片的变形引起的检测精度的下降。

附图说明

图1是本发明的流量传感器的一实施方式的从上表面侧看时的俯视图。

图2是从背面侧看图1所示的流量传感器时的平面图。

图3是图1所示的流量传感器的III-III线截面图。

图4是图1所示的流量传感器的IV-IV线截面图。

图5是表示本发明的流量传感器的树脂密封工序的截面图。

图6是用于说明树脂模塑时，作用于流量传感器的膜片的X方向上的压缩力的图。

图7是用于说明树脂模塑时，作用于流量传感器的膜片的Y方向上的压缩力的图。

图8是用于说明由于树脂模塑的收缩，作用于流量传感器的膜片的弯曲变形的图。

图9表示本发明的流量传感器的变形例1，是从流量传感器的背面侧看时的俯视图。