[发明专利]氟化物皮膜形成用铝合金材料及具有氟化物皮膜的铝合金材料有效
| 申请号： | 201980038108.0 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN112236536B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 村濑功 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C22C21/06 | 分类号： | C22C21/06;C22C21/02;C23C8/08;C23C28/04;C25D11/04;C25D11/18;C22F1/047;C22F1/05 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘航;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化物 皮膜 形成 铝合金 材料 具有 | ||
【权利要求书】：
1.一种氟化物皮膜形成用铝合金材料，其特征在于，
含有Si：0.3质量％～0.8质量％、Mg：0.5质量％～5.0质量％、Fe：0.05质量％～0.5质量％，Cu的含有率为0.5质量％以下，Mn的含有率为0.30质量％以下，Cr的含有率为0.30质量％以下，余量由Al及不可避免的杂质构成，
在将所述铝合金材料中的Fe系结晶物的平均长径设为Dμm，将所述铝合金材料中的平均晶体粒径设为Yμm时，满足下述式(1)的关系式，
log10Y-0.320D+4.60…式(1)
所述铝合金材料是作为半导体制造装置用的构件使用的。
2.一种具有氟化物皮膜的铝合金材料，其特征在于，
在权利要求1所述的氟化物皮膜形成用铝合金材料的表面的至少一部分形成有氟化物皮膜。
3.根据权利要求2所述的具有氟化物皮膜的铝合金材料，
所述氟化物皮膜的厚度为0.1μm～10μm。
4.根据权利要求2或3所述的具有氟化物皮膜的铝合金材料，
所述氟化物皮膜包含形成于所述氟化物皮膜形成用铝合金材料的表面的第1皮膜层和进而形成于所述第1皮膜层的表面的第2皮膜层，
所述第1皮膜层是含有氟化镁的皮膜，所述第2皮膜层是含有氟化铝及铝的氧化物的皮膜。
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