[发明专利]电声谐振器以及包括电声谐振器的RF滤波器

权利要求书

1.一种电声谐振器，包括：

-压电材料；以及

-所述压电材料上的电极结构，

其中：

-具有波长λ的声学主模式能够传播，

-所述压电材料是铌酸锂或掺杂的铌酸锂，并且

-具有由欧拉角(0°，80°至88°，0°)限定的晶体切型。

2.根据前述权利要求所述的谐振器，其中所述压电材料具有由欧拉角(0°，80°至83°，0°)限定的晶体切型。

3.根据前述两项权利要求中一项所述的谐振器，还包括TCF层，所述TCF层布置在所述电极结构和所述压电材料上或上方。

4.根据前述权利要求所述的谐振器，其中所述TCF层包括SiO₂或SiOF。

5.根据前述两项权利要求中一项所述的谐振器，其中所述TCF层具有20％λ至40％λ的厚度。

6.根据前述权利要求中一项所述的谐振器，还包括钝化层，所述钝化层布置在所述TCF层上或上方。

7.根据前述权利要求所述的谐振器，其中所述钝化层包括SiN。

8.根据前述两项权利要求中一项所述的谐振器，其中所述钝化层具有1％λ至4％λ的厚度。

9.根据前述权利要求中一项所述的谐振器，其中所述电极结构包括选自Au、Cu、Pt和W的金属。

10.根据前述权利要求中一项所述的谐振器，其中所述电极结构具有6％λ至15％λ的厚度。

11.根据前述权利要求中一项所述的谐振器，其中：

所述主模式是剪切模式或类似剪切的模式。

12.根据前述权利要求中一项所述的谐振器，所述谐振器是SAW谐振器或GBAW谐振器。

13.一种RF滤波器，包括前述权利要求中一项所述的谐振器。

14.根据权利要求13所述的滤波器，所述滤波器是用于频带28、频带71、频带41、频带42或频带43的带通滤波器。

15.根据权利要求13所述的滤波器，所述滤波器是用于频带3、频带8、频带20或频带26的带通滤波器。

16.根据权利要求13所述的滤波器，所述滤波器是用于频带40、频带48、频带66或频带68的带通滤波器。