[发明专利]双面太阳能电池、太阳能模块及双面太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种双面太阳能电池，其具有背面的层堆叠，其特征在于，所述背面的层堆叠包括AlOx层(1)、一个或多个SiNx层(2、3、5)和SiOxNy层(4)。

2.根据权利要求1所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述AlOx层(1)布置在所述太阳能电池的衬底上，所述SiNx层(2、3)布置在所述AlOx层(1)的背离所述衬底的一侧上，并且所述SiOxNy层(4)布置在所述SiNx层(2、3)的背离所述衬底的一侧上。

3.根据权利要求1或2所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述SiNx层(2、3)是具有第一SiNx层(2)和第二SiNx层(3)的SiNx双层。

4.根据权利要求2或3所述的双面太阳能电池，其特征在于，第三SiNx层(5)布置在所述SiOxNy层(4)的背离所述衬底的一侧上。

5.根据权利要求3或4所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述第一SiNx层(2)的折射率小于第二SiNx层(3)的折射率，其中所述第一SiNx层(2)布置在所述第二SiNx层(3)的背离所述衬底的一侧上，并且所述第二SiNx层(3)布置在所述AlOx层(1)的背离所述衬底的一侧上。

6.根据前述权利要求中任一项所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述AlOx层(1)的折射率处于1.5至1.7的范围内，所述SiNx层(2、3、5)的折射率处于2.0至2.4的范围内，所述SiOxNy层(4)的折射率处于根据DIN在波长632nm下测得的1.5至1.9的范围内，其中优选所述第一SiNx层和第三SiNx层(2、5)的折射率处于2.0至2.2的范围内，并且所述第二SiNx层(3)的折射率处于2.2至2.4的范围内。

7.根据前述权利要求中任一项所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述层堆叠的总层厚度为至少95nm，优选至少105nm，更优选至少115nm，还更优选至少120nm。

8.根据前述权利要求中任一项所述的双面太阳能电池，其特征在于，所述AlOx层(1)的厚度处于5至20nm的范围内，布置在所述AlOx层(1)的背离所述衬底的一侧上的SiNx层(2、3)的厚度处于20至50nm的范围内，布置在所述SiOxNy层(4)的背离所述衬底的一侧上的第三SiNx层(5)的厚度处于5至30nm的范围内，并且所述SiOxNy层(4)的厚度处于40至80nm的范围内，其中优选所述第一SiNx层(2)的厚度处于20至40nm的范围内，所述第二SiNx层(3)的厚度处于10至30nm的范围内，并且所述第三SiNx层(5)的厚度处于10至20nm的范围内。

9.一种太阳能模块，其包括多个根据前述权利要求中任一项所述的双面太阳能电池。

10.根据权利要求9所述的太阳能模块，其被构造为单面的太阳能模块。

11.根据权利要求10所述的太阳能模块，其特征在于白色的背面封装元件。

12.一种根据权利要求1至8中任一项所述的双面太阳能电池的制造方法，其特征在于，在将石墨舟作为晶片载体的管式PECVD设备中沉积由AlOx层(1)、SiNx层(2、3、5)和SiOxNy层(4)组成的背面的层堆叠，并将这些层相继涂覆在同一个管中。