[发明专利]工件保护用片材有效
| 申请号： | 201980036035.1 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN112203857B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 新井雅弘 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B30B15/02;B32B27/36;B32B27/08;B32B3/24;B32B27/06;B32B27/30;B32B27/28;B32B7/12;B32B29/00;B32B15/085;B32B33/00;H01G13/00;H01F41/04 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 保护 用片材 | ||
1.一种工件保护用片材，其是在吸附台上压制工件时，在所述吸附台与所述工件之间以吸附于所述吸附台的状态使用的工件保护用片材，
其具备基层和超高分子量聚乙烯多孔体层，
将所述基层侧作为测定时的空气流的上游侧所测定的厚度方向的透气度以基于JISL1096规定的透气性测定B法的格利透气度来表示为4000秒/100mL以上；
朝向所述吸附台的被吸附面由所述基层构成，与所述工件的接触面由所述超高分子量聚乙烯多孔体层构成。
2.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其中，将所述超高分子量聚乙烯多孔体层侧作为测定时的空气流的上游侧所测定的厚度方向的透气度以基于JIS L1096规定的透气性测定B法的格利透气度来表示为小于1000秒/100mL。
3.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其中，所述接触面的表面粗糙度Ra为0.9μm以下。
4.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其中，所述接触面的表面电阻率为9.9×1013Ω/□以下。
5.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其中，所述基层由选自树脂、纸和金属中的至少1种构成。
6.根据权利要求5所述的工件保护用片材，其中，所述树脂为选自聚酯树脂、聚碳酸酯树脂、丙烯酸类树脂、聚烯烃树脂、聚酰亚胺树脂和聚苯乙烯树脂中的至少1种。
7.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其为片状。
8.根据权利要求1所述的工件保护用片材，其中，所述工件为陶瓷生片。
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