[发明专利]准分子灯

说明书

本发明为一种准分子灯，在包括一对平面部和一对侧面部的扁平的大致矩形截面形状的放电容器的平面部的各个外表面上配置有一对外部电极，在外部电极的端部设置延伸到比上述平面部间的距离小的区域的辅助电极，向外部电极供电的导线在比上述平面部间的距离小的区域中与辅助电极连接。

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，具备具有扁平的矩形截面形状的放电容器，特别涉及一种在放电容器的外表面上设置有电极的准分子灯。

背景技术

准分子灯能够放射紫外线、特别是波长较短的紫外线，因此被利用于半导体制造工序、液晶制造工序、臭氧产生装置等。

在日本特开2013-098015号公报(专利文献1)中公开有这种准分子灯的例子。

图5示出所述准分子灯21，该放电容器22的整体成为扁平的矩形截面形状，在该放电容器22的平面部23的外表面上对置地设置有外部电极24，这些外部电极24与未图示的高频电源连接。

该放电容器22例如使用波长200nm以下的紫外线的透射性优良的材料、例如合成石英玻璃等石英玻璃、蓝宝石玻璃等。

然后，在上述放电容器22的内部，根据所使用的光的波长，作为发光气体而封入有氙气、氪气等稀有气体、或者这些稀有气体与氯等卤素气体的混合气体。

此外，在放电容器22的两端，安装有用于将准分子灯21固定于光照射装置的灯座30、30。

所述准分子灯21的构造例如在日本特开2013-149546号公报(专利文献2)中示出，其具体构造如图6所示。

放电容器22包括具有扁平的矩形截面形状的玻璃管221、以及插入且熔敷于其两端的密封部件222，在密封部件222上设置有排气管223。此时，密封部件222从玻璃管221的端部向内部插入若干量而熔敷，玻璃管221的端部形成比密封部件222向外侧突出的末端部224。

然后，在该专利文献2的现有技术中，在外部电极24的端部设置有平板状电极25，在该平板状电极25上通过玻璃焊锡27等焊接连接有向外部电极24供电的导线26。

然后，如图6的(B)所示那样，以对放电容器22的端部进行覆盖的方式安装有灯座30。

然而，这样的准分子灯如上述那样被使用于各种用途，但在臭氧产生装置等对流动的气体进行处理的准分子灯中，以使灯沿着被处理气体的流动方向的方式配置其长边方向，而对气体照射真空紫外光。

在这样的情况下，如图7所示那样，存在如下那样的问题：被处理气体在灯座30的后方(尾流侧)产生旋涡，气体产生紊流，无法沿着准分子灯21的放电容器22顺畅地流动，无法高效地进行处理。

如图6所示那样，供电用的导线26通过玻璃焊锡27焊接连接在外部电极24(的平板状电极25)上，因此在放电容器22的厚度方向(外部电极间的厚度方向)上焊接部(焊锡)27从外表面突出，由此灯座30的厚度与放电容器22的厚度相比大非常多，由此产生进一步的不良情况。

此外，来自准分子灯的真空紫外光在气体中的射程较短，被周围的气体吸收而衰减。即使在将这样的准分子灯利用为对气体处理以外的被处理物直接照射真空紫外光的光源的情况下，由于灯座与灯的厚度相比变得相当厚，因此也无法将准分子灯与被处理物接近配置，存在无法有效地照射紫外光这样的不良情况。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-098015号公报

专利文献2：日本特开2013-149546号公报

发明内容

发明要解决的课题