[发明专利]基于频率确定部件的位置的测量组件

权利要求书

1.一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，包括：

至少一个光学谐振器，其中，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、分配到所述部件的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜；

其中，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。

2.根据权利要求1所述的测量组件，其特征在于，所述谐振器还包括回反射器(120)，所述回反射器(120)以平行偏移的方式在所述测量束的方向上相同地使所述测量束反转。

3.根据权利要求2所述的测量组件，其特征在于，所述测量目标由所述回反射器形成。

4.根据权利要求1或2所述的测量组件，其特征在于，所述测量目标由平面反射镜(340、440、540)形成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括偏振光学分束器(450)。

6.根据权利要求5所述的测量组件，其特征在于，来自所述偏振光学分束器(450)的测量束垂直地入射在所述测量目标上。

7.根据前述权利要求中的任一项所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括光学组(520)，所述光学组包括以开普勒布置的两个透镜元件(521、523)。

8.根据权利要求7所述的测量组件，其特征在于，所述光学组(520)包括反射镜(522)，所述反射镜(522)的开口在所述两个透镜元件(521、523)的共同焦平面中，所述反射镜将从所述测量目标返回的束路径反射回。

9.根据前述权利要求中任一项所述的测量组件，其特征在于，所述回反射器以维持偏振的方式配置。

10.根据前述权利要求中的任一项所述的测量组件，其特征在于，所述第一谐振器反射镜具有曲率，使得在所述谐振器中存在的光场被稳定地限制。

11.根据前述权利要求中任一项所述的测量组件，其特征在于，所述第一谐振器反射镜配置为猫眼反射镜。

12.根据前述权利要求中的任一项所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括被稳定至所述光学谐振器的谐振器模式的至少一个可调谐激光器(601、801、1001、1101)。

13.根据权利要求12所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括控制环路，所述控制环路配置为根据Pound-Drever-Hall方法来稳定所述可调谐激光器(601、801、1001、1101)。

14.根据权利要求12或13所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括至少一个飞秒激光器(803、1003、1103)，用于确定所述至少一个可调谐激光器(601、801、1001、1101)的激光辐射的频率。

15.根据前述权利要求中任一项所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件还包括频率标准件(806、1006、1106)，特别是气体电池。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的测量组件，其特征在于，所述测量组件包括用于实现绝对长度测量的两个可调谐激光器(1001、1012)，所述两个可调谐激光器能够以所述光学谐振器的已知频率间隔稳定至不同的谐振器模式。

17.根据权利要求16所述的测量组件，其特征在于，拍频分析器单元(1005、1009)被分配到所述两个可调谐激光器(1001、1012)中的每一个。