[发明专利]压力传感器有效
申请号: | 201980032162.4 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN112154313B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 滨崎良平;辻大喜 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L29/84 | 分类号: | H01L29/84 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
1.一种压力传感器,具有:
基底构件;
膜片,其以与所述基底构件隔开间隔的方式配置;
第一固定电极,其以与所述膜片相向的方式设置于所述基底构件,所述第一固定电极具备电介质层;以及
第二固定电极,其以与所述膜片相向的方式设置于所述基底构件,
其中,当作用于所述膜片的压力增加而所述膜片朝向所述基底构件弯曲时,在所述膜片与所述第二固定电极之间的距离变为恒定之前,所述膜片会与所述第一固定电极的电介质层接触,
所述第二固定电极与所述膜片的中央部分相向,
所述第一固定电极在从所述膜片与所述基底构件相向的方向上观察时呈包围所述第二固定电极的环状,
所述第一固定电极和所述第二固定电极设置于所述基底构件的同一平面,
所述压力传感器具有比所述第一固定电极和所述第二固定电极厚的接触限制构件。
2.根据权利要求1所述的压力传感器,其中,
所述接触限制构件为在从所述膜片与所述基底构件相向的方向上观察时包围所述第二固定电极且被所述第一固定电极包围的筒状构件。
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