[发明专利]流体控制装置、流体控制设备以及动作解析系统

说明书

本发明对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线或流体控制装置整体精密地进行监控。在集成多个流体控制设备(A)而构成的流体控制装置(G)中，流体控制设备(A)具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储部(71)，其存储自身识别信息；以及通信处理部(72)，其按每个流体控制设备(A)在不同定时将由动作信息获取机构获取到的动作信息与存储于识别信息存储部(71)的自身识别信息一起发送给外部终端。

技术领域

本发明涉及对具有多个流体控制设备的流体供给管线整体精密地进行监控的技术。

背景技术

在供给用于半导体制造工艺的工艺流体的流体供给管线，使用自动阀等流体控制设备。

近年来，ALD(Atomic Layer Deposition：原子层沉积)等半导体制造工艺高级化，要求与以往相比能够更加微细地控制工艺流体的流体供给管线。而且，为了满足高级化的半导体制造工艺的要求，提出了能够更精密地监控例如阀的状态的流体控制设备。

关于这一点，在专利文献1中，提出了一种阀，其具备形成有第一流路以及第二流路的主体和将第一流路与第二流路之间连通或者切断的阀体，主体具有：基部，其具有位于阀体侧的第一面和位于第一面的相反侧的第二面；第一连结部，其具有第二面和形成阶梯部的第三面；以及第二连结部，其具有第一面和形成阶梯部的第四面，第一流路具有第1-1流路和第1-2流路，第1-1流路的第1-1端口在第三面开口，第1-2流路的第1-3端口与第1-1流路的第1-2端口连通，且朝向阀体开口，第1-2流路的第1-4端口在第四面开口，并经由第1-3端口能够与第一流路和所述第二流路连通，第一连结部连结于其他阀的主体中的相当于第二连结部的部分，第1-1流路和其他阀的主体中的相当于第1-2流路的流路连通。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-223533号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线中，各流体控制设备受到其他流体控制设备的开闭动作、流量变化等的影响。故而，仅对各流体控制设备单独地进行控制或进行监控，无法满足近年来高级化的半导体制造工艺的要求。

因此，本发明的目的之一在于，对利用多个流体控制设备而构成的流体供给管线整体精密地进行监控。

用于解决课题的技术方案

为达到上述目的，本发明的一个观点所涉及的流体控制装置是集成多个流体控制设备而构成的流体控制装置，所述流体控制设备具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储单元，其存储自身识别信息；以及通信处理单元，其按每个所述流体控制设备在不同定时将所述动作信息与所述自身识别信息一起发送给外部终端。

另外，还可以构成为，所述流体控制设备还具有判别处理单元，该判别处理单元基于所述动作信息来判别所述流体控制设备的异常，所述通信处理单元按每个所述流体控制设备在不同定时将所述流体控制设备的异常的判别结果与自身识别信息一起发送给外部终端。

另外，还可以构成为，所述通信处理单元还以给定的周期对给定的信息处理装置发送所述流体控制设备的动作信息或异常的判别结果。

另外，本发明的其他观点所涉及的流体控制设备是集成多个流体控制设备而构成流体控制装置的流体控制设备，具有：动作信息获取机构，其获取设备内的动作信息；识别信息存储单元，其存储自身识别信息；以及通信处理单元，其按每个所述流体控制设备在不同定时将所述动作信息与所述自身识别信息一起发送给外部终端。