[发明专利]反射型动态超颖表面

权利要求书

1.一种反射型动态超颖表面，其中，

具备：

层叠结构体，其具有规定波长的光能够双向地通过的第1面、与所述第1面相对的第2面、对所述光具有透过性并且配置于所述第1面与所述第2面之间的透明导电层、及对所述光具有透过性并且配置于所述第1面与所述第2面之间的电介质层，且设定有至少包含在沿着自所述第1面向所述第2面的层叠方向观察所述第1面时构成一维排列的多个像素的像素区域；

第1金属膜，其设置于所述层叠结构体的所述第1面上；

第2金属膜，其以与所述第1金属膜一起夹着多个所述像素的方式，设置于所述层叠结构体的所述第2面上，将通过了所述第1面的所述光朝向所述第1面反射；及

驱动电路，其控制向所述第1金属膜与所述第2金属膜之间施加的电压，

所述第1金属膜以沿着所述层叠方向观察所述第1面时，在多个所述像素的各个中，在夹着所述第1金属膜的至少一部分的状态下相互分离的一对窗区域露出的方式，设置于所述第1面上，

至少所述第2金属膜包含分别在所述第2面上规定多个所述像素中建立了对应的像素的重心位置及形状的多个部分金属膜，

多个所述部分金属膜在相互隔开规定距离并且电性分离的状态下，设置于所述第2面上，

所述驱动电路具有如下结构：为了对多个所述像素的各个调制所述光的相位，至少个别地控制与多个所述像素一对一地对应的多个所述部分金属膜的电位。

2.如权利要求1所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述驱动电路具有以与多个所述部分金属膜一对一地对应的方式设置且分别保持用于设定多个所述部分金属膜中建立了对应的部分金属膜的电位的电压的多个电压保持部。

3.如权利要求2所述的反射型动态超颖表面，其中，

多个所述电压保持部分别包含由多个所述部分金属膜中建立了对应的部分金属膜构成一方的电极的电容器。

4.如权利要求1～3中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述驱动电路具有以与多个所述部分金属膜一对一地对应的方式设置的多个晶体管。

5.如权利要求1～4中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述层叠结构体还具有配置于多个所述像素中相互邻接的像素之间且分别构成所述透明导电层的一部分，并且将分别构成邻接的所述像素的一部分的邻接部分彼此电性分离的空隙或绝缘部。

6.如权利要求1～5中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述第1面上的一对所述窗区域的排列方向与所述光的偏光方向一致。

7.如权利要求1～6中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述电介质层位于所述第1面与所述透明导电层之间。

8.如权利要求1～7中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

该反射型动态超颖表面还具备具有配置有所述驱动电路的主面的基板，

所述基板在使所述主面与所述层叠结构体的所述第2面相互面对面的状态下，与所述层叠结构体一体化。

9.如权利要求1～8中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述驱动电路将所述第1金属膜设为基准电位，

所述第1金属膜遍及沿着与一对所述窗区域的排列方向交叉的方向排列的两个以上像素而延伸。

10.如权利要求1～9中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述电介质层包含氧化铝、氧化硅及氟化镁中的至少一者。

11.如权利要求1～10中任一项所述的反射型动态超颖表面，其中，

所述透明导电层包含氧化铟及氧化锌中的至少一者作为通过掺杂剂而低电阻化后的氧化物。