[发明专利]光伏电池及用于制造所述光伏电池的方法在审

申请号：	201980030694.4	申请日：	2019-03-11
公开（公告）号：	CN112424951A	公开（公告）日：	2021-02-26
发明（设计）人：	威廉默斯·马修斯·玛丽·凯塞尔斯;拉克兰·爱德华·布莱克	申请（专利权）人：	埃因霍芬理工大学
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;H01L31/068;H01L31/18
代理公司：	北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204	代理人：	王达佐;洪欣
地址：	荷兰埃***	国省代码：	暂无信息
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摘要：
搜索关键词：	电池用于制造述光伏方法
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【权利要求书】：

1.包括具有两个相对的主表面的硅衬底的光伏电池，其中所述两个主表面中的第一主表面被钝化层堆叠体覆盖，所述钝化层堆叠体包括：

-覆盖所述第一主表面的含PO_x和Al的层；以及

-覆盖所述含PO_x和Al的层的覆盖层结构。

2.如权利要求1所述的光伏电池，其中所述含PO_x和Al的层是混合的AlP_xO_y膜，其中定制所述含PO_x和Al的层中的磷与磷+铝的原子百分比之间的比率(P/(P+Al))以获得在有效过量载流子寿命τ_eff(s)、固定电荷密度Q_f(cm^-2)和界面态密度D_it(eV^-1cm^-2)之间的最佳平衡。

3.如权利要求2所述的光伏电池，其中所述层中的磷与磷+铝的原子百分比之间的比率(P/(P+Al))是0.6至1.0。

4.如权利要求1至2中任一项所述的光伏电池，其中所述层中的磷与磷+铝的原子百分比之间的比率(P/(P+Al))是至少0.5。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光伏电池，其中所述含PO_x和Al的层额外地包含H、Si、C中的至少一种。

6.如权利要求1至5中任一项所述的光伏电池，包括：

-在所述第一主表面与所述含PO_x和Al的层之间的SiO₂层。

7.如权利要求6所述的光伏电池，其中所述SiO₂层是具有0.5nm至2nm的厚度的层。

8.如权利要求1至7中任一项所述的光伏电池，其中所述覆盖层结构包括氧化铝(Al₂O₃)层。

9.如权利要求1至8中任一项所述的光伏电池，其中所述覆盖层结构包括层的堆叠体，例如，Al₂O₃层和SiN_x层的堆叠体。

10.如权利要求1至9中任一项所述的光伏电池，其中所述覆盖层结构包括选自SiN_x、TiO_x、SiO_x的层。

11.如前述权利要求中任一项所述的光伏电池，其中覆盖所述第一主表面的所述含PO_x和Al的层具有小于10nm的厚度。

12.如前述权利要求中任一项所述的光伏电池，其中所述覆盖层结构是具有2nm至30nm、更优选地2nm至5nm的厚度的氧化铝(Al₂O₃)层。

13.如权利要求1至12中任一项所述的光伏电池，其中所述两个主表面中的第二主表面被氧化铝(Al₂O₃)层覆盖。