[发明专利]成膜装置以及成膜方法

权利要求书

1.一种成膜装置，一边使工件绕规定的公转中心轴线公转一边在所述工件的面向垂直于所述公转中心轴线的方向的侧面形成覆膜，其特征在于包括：

至少一个第一蒸发源，具有让作为用于形成所述覆膜的材料的粒子飞出的射出面，该第一蒸发源相对于基准线被对称地配置，当沿着所述公转中心轴线延伸的方向观察时，该基准线通过所述公转中心轴线且垂直于边界线，所述边界线沿着绕所述公转中心轴线公转的所述工件描绘的轨道圆的径向延伸；

至少一个第二蒸发源，隔着所述边界线位于所述第一蒸发源的相反侧，并且，相对于所述基准线被对称地配置；

第一电源，向所述第一蒸发源施加用于使用于形成所述覆膜的粒子从所述第一蒸发源的射出面飞出的电能；

第二电源，向所述第二蒸发源施加用于使用于形成所述覆膜的粒子从所述第二蒸发源的射出面飞出的电能；

工件旋转装置，一边以使所述工件保持所述工件的侧面中所述覆膜应与其他区域相比较厚地形成的特定区域面向从所述轨道圆的径向中选择的特定径向的姿势的方式支撑所述工件，一边让所述工件绕所述公转中心轴线公转；以及，

控制装置，以使形成于所述工件的覆膜中通过从所述第一蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分即第一覆膜部分比通过从所述第二蒸发源的射出面飞出的粒子而形成的部分即第二覆膜部分厚的方式，控制从所述第一电源向所述第一蒸发源施加的电能以及从所述第二电源向所述第二蒸发源施加的电能。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述控制装置在形成所述覆膜的期间使施加于所述第一蒸发源的电能总量大于施加于所述第二蒸发源的电能总量。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述控制装置使每单位时间施加于所述第一蒸发源的电能的量大于每单位时间施加于所述第二蒸发源的电能的量。

4.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述控制装置在形成所述覆膜的期间以使施加于所述第一蒸发源的电能总量大于施加于所述第二蒸发源的电能总量的方式，使所述第一电源对所述第一蒸发源施加电能的期间即第一电源运转期间比所述第二电源对所述第二蒸发源施加电能的期间即第二电源运转期间长。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述控制装置以使所述第二电源运转期间的至少一部分与所述第一电源运转期间的一部分重叠的方式控制所述第一电源运转期间和所述第二电源运转期间的开始以及结束。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的成膜装置，其特征在于，所述工件旋转装置包括：

公转台，能够绕所述公转中心轴线回转；

至少一个自转台，从所述公转中心轴线向所述公转台的径向离开而被配置在所述公转台的径向，以相对于所述公转台能够绕平行于所述公转中心轴线的自转中心轴线旋转的方式被配置；

引导构件，当沿着所述公转中心轴线延伸的方向观察时，在从所述轨道圆向所述边界线延伸的方向错开的位置形成有呈环状的引导槽；以及，

被引导构件，以与所述自转台一体地绕所述自转中心轴线旋转的方式连结于该自转台，并且，以伴随所述公转台的公转在所述引导槽内移动从而维持所述工件的所述侧面的所述特定区域面向所述特定径向的姿势的方式卡合于所述引导槽。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述第二蒸发源使用与构成所述第一蒸发源的材料不同的材料而形成。