[发明专利]流体加热装置

说明书

流体加热装置具备：容器，其具有外筒部件以及配置于外筒部件的内侧的内筒部件，外筒部件的内表面与内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；灯加热器，其配置于内筒部件；第一喷嘴部件，其配置于灯加热器的前端侧，具有供气口；第一引导机构，其引导从第一喷嘴部件的供气口供给的第一气体。内筒部件包含在与外筒部件的中心轴正交的面内配置于外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件。灯加热器包含配置于中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个周边内筒部件的周边灯加热器。第一引导机构向中央灯加热器的前端侧引导第一气体。

技术领域

本发明涉及流体加热装置。

背景技术

在半导体制造工艺中，使用半导体晶圆清洗用的药液以及光致抗蚀剂剥离用的药液那样的各种药液。在半导体制造工艺中使用的药液是在被流体加热装置加热的状态下使用的。流体加热装置具备卤素灯那样的灯加热器。流体加热装置利用灯加热器的辐射热将药液加热。若灯加热器的温度过度上升，则有流体加热装置的性能降低的可能性。因此，提出了向灯加热器供给气体而抑制灯加热器的温度过度上升的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平09－097781号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

为了对大量的药液进行温度调整，期望流体加热装置的高输出化。期望一种即使流体加热装置提高输出也能够抑制灯加热器的温度过度上升而抑制流体加热装置的寿命降低和早期故障的技术。

本发明的方式的目的在于：同时实现流体加热装置的高输出化与紧凑化，从而在不依靠提高灯加热器单体的功率，而是增加灯加热器的根数、将多个灯加热器配置于一个容器时，抑制灯加热器的温度过度上升而抑制寿命降低和早期故障。

用于解决技术问题的手段

根据本发明的方式，提供一种流体加热装置，该流体加热装置具备：容器，其具有外筒部件以及配置于所述外筒部件的内侧的内筒部件，所述外筒部件的内表面与所述内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；灯加热器，其配置于所述内筒部件；第一喷嘴部件，其配置于所述灯加热器的前端侧，具有供气口；第一引导机构，其引导从所述第一喷嘴部件的所述供气口供给的第一气体；所述内筒部件包含在与所述外筒部件的中心轴正交的面内配置于所述外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于所述中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件，所述灯加热器包含配置于所述中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个所述周边内筒部件的周边灯加热器，所述第一引导机构向所述中央灯加热器的前端侧引导所述第一气体。

发明效果

根据本发明的方式，即使流体加热装置提高输出，也能够抑制灯加热器的温度过度上升而抑制寿命降低和早期故障。

附图说明

图1是示意地表示第一实施方式的流体系统的一个例子的图。

图2是示意地表示第一实施方式的流体加热装置的立体图。

图3是表示第一实施方式的壳体的内部的图。

图4是表示第一实施方式的壳体的内部的图。

图5是表示第一实施方式的灯加热器的侧视图。

图6是表示第一实施方式的灯加热器的俯视图。

图7是表示第一实施方式的保持部件的主视图。

图8是表示第一实施方式的保持部件的主视图。

图9是表示第一实施方式的容器的侧视图。

图10是表示第一实施方式的容器的主视图。