[发明专利]试样观察装置和试样观察方法

权利要求书

1.一种试样观察装置，其特征在于，包括：

用于在XZ面上对试样照射平面光的照射光学系统；

以通过所述平面光的照射面的方式在Y轴方向上扫描所述试样的扫描部；

具有相对于所述照射面倾斜的观察轴、使通过所述平面光的照射而在所述试样上产生的观察光成像的成像光学系统；

用于获取多个与由所述成像光学系统成像的所述观察光的光学图像对应的XZ图像数据的图像获取部；和

基于由所述图像获取部获取的多个所述XZ图像数据，生成所述试样的XY图像数据的图像生成部，

所述图像获取部对所述Y轴方向获取多个所述XZ图像数据，

所述图像生成部提取在所述XZ图像数据中的解析区域，并且至少在Z轴方向上累计所述解析区域的亮度值，生成X图像数据，在所述Y轴方向上组合所述X图像数据以生成所述XY图像数据。

2.如权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于，

所述图像生成部至少对所述解析区域进行暗点修正消减，之后在所述Z轴方向上累计所述解析区域的亮度值。

3.如权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于，

所述图像生成部减小除所述解析区域之外的区域的亮度值，并在Z轴方向上累计所述XZ图像数据的亮度值来生成所述X图像数据。

4.如权利要求2所述的试样观察装置，其特征在于，

所述图像生成部减小除所述解析区域之外的区域的亮度值，并在Z轴方向上累计所述XZ图像数据的亮度值来生成所述X图像数据。

5.如权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于，

所述图像生成部仅对所述解析区域的亮度值在Z轴方向上进行累计来生成所述X图像数据。

6.如权利要求2所述的试样观察装置，其特征在于，

所述图像生成部仅对所述解析区域的亮度值在Z轴方向上进行累计来生成所述X图像数据。

7.如权利要求1～6中任一项所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为10°～80°。

8.如权利要求1～6中任一项所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为20°～70°。

9.如权利要求7所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为20°～70°。

10.如权利要求1～6中任一项所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为30°～65°。

11.如权利要求7所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为30°～65°。

12.如权利要求8所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为30°～65°。

13.如权利要求9所述的试样观察装置，其特征在于，

所述成像光学系统的所述观察轴相对于所述平面光的照射面的倾斜角为30°～65°。

14.如权利要求1～6中任一项所述的试样观察装置，其特征在于，

还包括：解析包括所述XY图像数据的观察图像数据，生成解析结果的解析部。

15.如权利要求7所述的试样观察装置，其特征在于，

还包括：解析包括所述XY图像数据的观察图像数据，生成解析结果的解析部。