[发明专利]制造生物传感器纳米孔的方法

权利要求书

1.一种从高灵敏度且高选择性的电化学生物传感器的电极表面去除杂质的方法，所述方法包括：用铁氰化物溶液或亚甲蓝溶液洗涤所述生物传感器的电极表面，其中所述洗涤步骤增加了所述电化学生物传感器的灵敏度或选择性。

2.一种制造生物传感器的方法，所述方法包括：

在基底层上形成缓冲层；

在所述缓冲层上形成金属层；

通过使用第一光刻工艺图案化所述金属层来形成期望的图案化的电极；

在所述电极上形成无机绝缘层；

通过使用第二光刻工艺暴露所述电极的区域，在所述无机绝缘层上形成多个纳米孔；以及

用硫酸(H₂SO₄)溶液洗涤所述多个纳米孔，以从通过所述多个纳米孔暴露的电极去除杂质。

3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：

在用所述硫酸(H₂SO₄)溶液洗涤之后，通过铁氰化物刻蚀来洗涤所述多个纳米孔。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，通过将所述生物传感器浸入K₃Fe(CN)₆和KCl的混合溶液中并施加0.9-1.5V的电压来进行所述铁氰化物刻蚀。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述铁氰化物刻蚀在15-25℃的范围内的温度下进行1至10秒。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的方法，其中，所述电极包括金(Au)。

7.根据权利要求2所述的方法，其中，所述无机绝缘层包括SiO₂或Si₃N₄。

8.根据权利要求2所述的方法，所述方法进一步包括以下：通过将所述生物传感器浸入所述硫酸(H₂SO₄)溶液中并施加1.0-1.5V的电压1-5分钟来用所述硫酸(H₂SO₄)溶液洗涤所述多个纳米孔。

9.根据权利要求2所述的方法，其中，所述纳米孔的间距比率定义为每个纳米孔的大小与相邻纳米孔之间的最短距离之比，其中所述间距比率为1:3或更小。

10.一种制造生物传感器的方法，所述方法包括：

在基底层上形成电极；

在所述电极上形成无机绝缘层；

通过使用光刻工艺暴露所述电极的区域，在所述无机绝缘层上形成多个纳米孔；

通过将所述多个纳米孔浸入H₂SO₄溶液中并施加1.5-2.0V的电压进行第一洗涤；以及

通过将所述多个纳米孔浸入K₃Fe(CN)₆和KCl的混合溶液中并施加1.0-1.5V的电压进行第二洗涤。