[发明专利]显微镜载台和载台移动机构

权利要求书

1.一种显微镜载台平移机构(100)，其包括：

驱动器(110)，所述驱动器(110)刚性地附接到或可附接到底座(105)，所述驱动器提供驱动器元件(114)的基本线性的运动；

摇杆(130)，所述摇杆(130)布置成用于围绕枢转轴线(A-A)枢转运动，所述轴线相对于所述底座(105)静止，所述摇杆具有布置成可直接与所述驱动器元件(114)接合的第一区域(122)以及远离所述第一区域(122)的第二区域(124)；

以及从动件，所述从动件具有从动件表面(134)，所述从动件表面(134)布置成可直接与所述摇杆的第二区域(124)接合，所述从动件(130)附接到或可附接到所述载台的竖直可移动部分；

所述机构(100)的特征在于，所述驱动器元件(114)和所述第一区域(122)在接合时在第一接触点(P)处具有点接触，且其中所述第二区域(124)和所述从动件表面(134)在接合时在第二接触点(P)处也具有点接触。

2.根据权利要求1所述的载台，其特征在于，在使用中，所述接触点的接合是滚动接合。

3.根据权利要求1或2所述的载台，其特征在于，所述点接触通过相反的圆柱特征或大体上平坦的表面特征以及相反的大体上球形的表面特征来提供，其各自形成相应的驱动器元件、第一区域、第二区域或从动件表面的部分。

4.根据前述权利要求中任一项所述的载台，其特征在于，还提供下者中一个或多个：

在使用中，所述驱动器是水平布置的线性驱动马达；

所述驱动马达安装到可在X和Y方向上水平移动的载台(底座)；

所述驱动马达输出刚性地连接到所述驱动器元件；

在使用中，所述摇杆枢转轴线大体上水平(例如，平行于X平面)；

所述摇杆安装在滚珠或滚子元件轴承上，以用于围绕水平轴线A-A枢转；

以所述枢转轴线为原点的所述第一接触点与所述第二接触点之间的角距小于90度；

或所述第一接触点与所述第二接触点之间的角距大于90度；

所述第二区域支撑所述载台的竖直可移动部分，诸如所述载台的样品安装部分，其通过所述驱动器或所述线性驱动器的水平移动来驱动或可通过所述水平移动来驱动，通过所述摇杆转换为竖直运动；

所述机构的力矩臂在所述机构的移动范围各处基本平衡。